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公开(公告)号：CN116330803A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202211613707.0
申请日：2022-12-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种接合方法和接合装置，能够控制将第一基板与第二基板接合而成的重合基板的翘曲。本发明的接合方法包括：使用第一保持部来吸附并保持第一基板；使用第二保持部来吸附并保持第二基板；以及通过使第一保持部与第二保持部相对地移动来使第一基板与第二基板接触而形成重合基板。本发明的一个方式所涉及的接合方法还包括：将第一基板及第二基板、或者重合基板进行加热；以及使用冷却部将加热后的重合基板进行冷却。另外，在冷却中，通过在重合基板形成温度差来控制重合基板的翘曲。
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公开(公告)号：CN113543920B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202080019362.9
申请日：2020-02-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/677 , B23K20/00
Abstract: 一种接合系统，具备：表面改性装置，其在减压气氛下对第一基板的包括金属层的接合面和第二基板的包括金属层的接合面一边加热一边改性；以及接合装置，其将所述改性后的所述第一基板的所述接合面和所述改性后的所述第二基板的所述接合面相对来进行接合，所述接合系统还具备：大气搬送装置，其在充满常压的大气的大气搬送区域中搬送所述第一基板和所述第二基板；加载互锁装置，其在用于在所述大气搬送区域与表面改性装置之间搬送所述第一基板和所述第二基板的搬送路径的中途形成切换气压的加载互锁室；以及冷却装置，其在将所述改性后的所述第一基板和所述改性后的所述第二基板中的至少一个基板从所述加载互锁室搬出至所述大气搬送区域之前冷却所述至少一个基板。
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公开(公告)号：CN115376883A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202210518227.X
申请日：2022-05-12
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明涉及接合方法和接合装置。提供一种在将包含玻璃基板和树脂层的第1基板与第2基板接合之前降低第1基板的翘曲并提高第1基板与第2基板之间的接合精度的技术。接合方法具有下述步骤(A)～(C)。(A)利用第1保持部吸附保持包含玻璃基板和树脂层的第1基板。(B)利用第2保持部吸附保持第2基板。(C)使第1保持部与第2保持部相对地移动，从而使第1基板与第2基板隔着粘接剂接触并进行加压。接合方法具有下述步骤(D)～(E)。(D)利用加热部加热第1基板。(E)使用自加热部向第1保持部输送第1基板的输送部输送第1基板。在利用第1保持部吸附保持第1基板之前，利用加热部加热第1基板，从而降低第1基板的翘曲。
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公开(公告)号：CN113543920A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202080019362.9
申请日：2020-02-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B23K20/00 , H01L21/02 , H01L21/677
Abstract: 一种接合系统，具备：表面改性装置，其在减压气氛下对第一基板的包括金属层的接合面和第二基板的包括金属层的接合面一边加热一边改性；以及接合装置，其将所述改性后的所述第一基板的所述接合面和所述改性后的所述第二基板的所述接合面相对来进行接合，所述接合系统还具备：大气搬送装置，其在充满常压的大气的大气搬送区域中搬送所述第一基板和所述第二基板；加载互锁装置，其在用于在所述大气搬送区域与表面改性装置之间搬送所述第一基板和所述第二基板的搬送路径的中途形成切换气压的加载互锁室；以及冷却装置，其在将所述改性后的所述第一基板和所述改性后的所述第二基板中的至少一个基板从所述加载互锁室搬出至所述大气搬送区域之前冷却所述至少一个基板。
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