公开(公告)号：CN113543920B

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202080019362.9

申请日：2020-02-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 前田浩史 ,  三村勇之 ,  饭野克宏 ,  古屋径荣 ,  坂本亮一 ,  山崎亮

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/677 ,  B23K20/00

Abstract: 一种接合系统，具备：表面改性装置，其在减压气氛下对第一基板的包括金属层的接合面和第二基板的包括金属层的接合面一边加热一边改性；以及接合装置，其将所述改性后的所述第一基板的所述接合面和所述改性后的所述第二基板的所述接合面相对来进行接合，所述接合系统还具备：大气搬送装置，其在充满常压的大气的大气搬送区域中搬送所述第一基板和所述第二基板；加载互锁装置，其在用于在所述大气搬送区域与表面改性装置之间搬送所述第一基板和所述第二基板的搬送路径的中途形成切换气压的加载互锁室；以及冷却装置，其在将所述改性后的所述第一基板和所述改性后的所述第二基板中的至少一个基板从所述加载互锁室搬出至所述大气搬送区域之前冷却所述至少一个基板。

公开(公告)号：CN113543920A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202080019362.9

申请日：2020-02-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 前田浩史 ,  三村勇之 ,  饭野克宏 ,  古屋径荣 ,  坂本亮一 ,  山崎亮

IPC: B23K20/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/677

Abstract: 一种接合系统，具备：表面改性装置，其在减压气氛下对第一基板的包括金属层的接合面和第二基板的包括金属层的接合面一边加热一边改性；以及接合装置，其将所述改性后的所述第一基板的所述接合面和所述改性后的所述第二基板的所述接合面相对来进行接合，所述接合系统还具备：大气搬送装置，其在充满常压的大气的大气搬送区域中搬送所述第一基板和所述第二基板；加载互锁装置，其在用于在所述大气搬送区域与表面改性装置之间搬送所述第一基板和所述第二基板的搬送路径的中途形成切换气压的加载互锁室；以及冷却装置，其在将所述改性后的所述第一基板和所述改性后的所述第二基板中的至少一个基板从所述加载互锁室搬出至所述大气搬送区域之前冷却所述至少一个基板。