公开(公告)号：CN110246740B

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN201910161642.2

申请日：2019-03-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 内田阳平 ,  须川直树 ,  阿部克史 ,  肥田刚

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明目的在于提供一种被处理体的载置装置，具有使边缘环与载置台稳定地接触的结构。该载置装置包括：在处理容器的内部载置被处理体的载置台；边缘环，其在上述被处理体的外周部载置在上述载置台，形成有卡止部；导电性的连接部，其通过上述卡止部与上述边缘环连接；和第一接触部，其在使上述边缘环与该连接部连接的状态下使上述边缘环与上述载置台接触。

公开(公告)号：CN110246740A

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201910161642.2

申请日：2019-03-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 内田阳平 ,  须川直树 ,  阿部克史 ,  肥田刚

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明目的在于提供一种被处理体的载置装置，具有使边缘环与载置台稳定地接触的结构。该载置装置包括：在处理容器的内部载置被处理体的载置台；边缘环，其在上述被处理体的外周部载置在上述载置台，形成有卡止部；导电性的连接部，其通过上述卡止部与上述边缘环连接；和第一接触部，其在使上述边缘环与该连接部连接的状态下使上述边缘环与上述载置台接触。