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公开(公告)号：CN104347445A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410366542.0
申请日：2014-07-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/66 , H01L21/687
CPC classification number: G01R31/2601 , G01R1/07342 , G01R31/2886 , H01L22/30 , H01L21/6838 , H01L21/68714 , H01L22/32 , H01L2221/683
Abstract: 本发明提供一种按晶片等级进行在衬底的两面具有电极的功率器件的电特性检查的探测装置，在衬底的背面侧电极与吸盘顶部的载置面导体之间实现接触电阻的降低和均匀化。在该探测装置中，用于将半导体晶片W保持在吸盘顶部12上的吸附机构，在吸盘顶部的载置面导体上以满足Φ＜p≤2Φ的条件的图案(口径Φ、孔距p)设置多个垂直微细孔。作为一个例子，口径Φ＝0.25mm、孔距p＝0.5mm。
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公开(公告)号：CN1975439A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610162999.5
申请日：2006-11-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2887
Abstract: 本发明提供一种探针卡移载辅助装置，能够辅助电气检查装置中使用的探针卡的移载作业，包括：挂住或者吊下以保持所述探针卡的一对把手的保持部；可移动地支承所述保持部的支承部；和升降所述支承部的装置，即使对于重量较大的探针卡，也能够减轻操作者的负担，可以平稳地移载探针卡。
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公开(公告)号：CN102024727B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201010287509.0
申请日：2010-09-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种能使用于晶片和带划片框架的晶片双方的加载器。本发明的加载器(10)，其包括：装载口(12)，其能载置收容着多个晶片(W)的第一承载器(C1)和收容着多个带划片框架的晶片(DFW)的第二承载器(C2)双方；晶片搬送机构(14)，其能搬送晶片(W)和带划片框架的晶片(DFW)双方，该加载器(10)被用于进行各自晶片(W)的电气特性检查的检查装置中，其中，装载口(12)包括：移动体(12B)，能载置第一、第二承载器(C1、C2)双方；和移动驱动机构(12C)，仅在载置了第一承载器(C1)时，使移动体(12B)从初始位置向与晶片搬送机构(14)的晶片(W)的交接位置移动。
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公开(公告)号：CN1975439B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200610162999.5
申请日：2006-11-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2887
Abstract: 本发明提供一种探针卡移载辅助装置，能够辅助电气检查装置中使用的探针卡的移载作业，包括：挂住或者吊下以保持所述探针卡的一对把手的保持部；可移动地支承所述保持部的支承部；和升降所述支承部的装置，即使对于重量较大的探针卡，也能够减轻操作者的负担，可以平稳地移载探针卡。
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公开(公告)号：CN101295661B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200810080551.8
申请日：2008-02-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/6838 , Y10S414/135
Abstract: 本发明提供一种基板吸附装置和基板搬送装置，其能够根据导体晶片等基板的大的弯曲、翘曲情况选择基板的上面和下面的任一面作为吸附面从而可靠地吸附保持并搬送基板。本发明的晶片吸附装置的镊子(17)包括：根据伯努利原理从上面吸附保持半导体晶片(W)的第一吸附单元(171)，和利用外部空气的吸引从下面吸附保持半导体晶片(W)的第二吸附单元(172)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102024730A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010287632.2
申请日：2010-09-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/673 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种载置机构、带划片框架的晶片的搬送方法及被用于搬送方法的晶片搬送用程序，该搬送方法能在从载置台搬送带划片框架的晶片的初始阶段抑制在载物台和薄片之间发生的剥离带电。本发明的带划片框架的晶片的搬送方法包括：第一工序，通过使用升降驱动机构使载置台(11)以一定的第一速度下降，从而使第一作用体(13)作用于多个支承体(12)，以第一速度顶起划片框架(DF)，使固定有晶片(W)的薄片(F)从载置台分开至第一位置；以及第二工序，通过使用升降驱动机构使载置台以比第一速度快的一定的第二速度下降，从而使第一作用体作用于多个支承体，以第二速度顶起划片框架，使固定了晶片的薄片从载置台分开至第二位置。
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公开(公告)号：CN102024727A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010287509.0
申请日：2010-09-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种能使用于晶片和带划片框架的晶片双方的加载器。本发明的加载器(10)，其包括：装载口(12)，其能载置收容着多个晶片(W)的第一承载器(C1)和收容着多个带划片框架的晶片(DFW)的第二承载器(C2)双方；晶片搬送机构(14)，其能搬送晶片(W)和带划片框架的晶片(DFW)双方，该加载器(10)被用于进行各自晶片(W)的电气特性检查的检查装置中，其中，装载口(12)包括：移动体(12B)，能载置第一、第二承载器(C1、C2)双方；和移动驱动机构(12C)，仅在载置了第一承载器(C1)时，使移动体(12B)从初始位置向与晶片搬送机构(14)的晶片(W)的交接位置移动。
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公开(公告)号：CN101354428B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200810086982.5
申请日：2008-04-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 长坂旨俊
Abstract: 本发明提供一种探针卡用台车和使用该台车的探针卡的操作方法，在检查装置上安装探针卡之后，不需要预热，能够缩短对应于预热时间的检查时间。本发明的探针卡用台车(20)在搬送进行高温检查或低温检查的检查装置中使用的探针卡(6′)时使用，包括：装卸自由地安装探针卡(6′)的台座(21A)；和将安装在该台座(21A)上的探针卡(6′)加热至晶片的检查所要求的规定的温度(例如100℃)的温度调节机构(22)。
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公开(公告)号：CN100552454C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200610139281.4
申请日：2006-09-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2893
Abstract: 随着近年来的探针卡(4)的大型化，其重量重达15～25Kg，所以，例如操作者等为了将探针卡(4)从搬送台车上抬起、移载并设置在卡搬送装置上，不仅需要很大的力气，而且在抬起探针卡(4)时抓住的部分受到限制，操作需要慎重，因此，给操作者带来过大的负担。本发明的探针卡移载辅助装置(55)包括：保持探针卡(51)的保持件(551)；前端部上安装有该保持件(551)的能够伸缩的臂(552)；支撑该臂(552)的自由旋转的支撑体(553)；根据重量的不同，通过该支撑体(553)，使探针卡(51)升降的升降驱动装置(554)。
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公开(公告)号：CN101354428A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810086982.5
申请日：2008-04-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 长坂旨俊
Abstract: 本发明提供一种探针卡用台车和使用该台车的探针卡的操作方法，在检查装置上安装探针卡之后，不需要预热，能够缩短对应于预热时间的检查时间。本发明的探针卡用台车(20)在搬送进行高温检查或低温检查的检查装置中使用的探针卡(6′)时使用，包括：装卸自由地安装探针卡(6′)的台座(21A)；和将安装在该台座(21A)上的探针卡(6′)加热至晶片的检查所要求的规定的温度(例如100℃)的温度调节机构(22)。
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