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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100403509C
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200580001445.0
申请日：2005-10-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67769 , H01L21/67109 , Y10S414/14
Abstract: 一种立式热处理装置，包括：将收纳有多片被处理体(W)的搬运容器(2)搬入以及搬出该立式热处理装置用的至少一个搬入搬出部(3、4)；保管通过该搬入搬出部而搬入该立式热处理装置内的多个搬运容器的第一保管部(5)；收纳多段保持有多片被处理体的保持件(6)，并对被处理体实施规定热处理的热处理炉(7)；和为了在上述保持件与搬运容器之间移载被处理体而承载搬运容器的移载部(8)；其中，作为所述搬入搬出部，设置有上段的搬入搬出部(3)和下段的搬入搬出部(4)，同时，在上段和下段的搬入搬出部之间设置有保管搬运容器的第二保管部(20)。上述搬入搬出部(3，4)中的至少一个作为保管搬运容器(2)的第三保管部(30)。可实现在不增大占用面积的条件下增加搬运容器的保管数量，并实现生产率的提高。
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公开(公告)号：CN1320604C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN02825957.2
申请日：2002-09-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/205 , H01L21/22 , C23C16/458 , C23C16/46 , H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67309 , C23C16/4583 , H01L21/67098
Abstract: 本发明涉及一种热处理用舟式容器，其特征在于具有多根支柱；在所述各支柱上，沿高度方向以规定间隔形成的多个爪部；借助所述爪部，在所述多根支柱之间呈多层安装的、具有可装载被处理体的被处理体装载面的多个支承板；设置于所述被处理体装载面上的槽和贯通孔。根据本发明，由于设置于被处理体装载面上的槽和贯通孔的作用，在支承板的被处理体装载面与被处理体之间形成空气层，可抑制被处理体的粘贴。由此，即使在高温的热处理时，仍可抑制被处理体的粘贴造成的滑动。
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公开(公告)号：CN1906748A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200580001445.0
申请日：2005-10-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67769 , H01L21/67109 , Y10S414/14
Abstract: 一种立式热处理装置，包括：将收纳有多片被处理体(W)的搬运容器(2)搬入以及搬出该立式热处理装置用的至少一个搬入搬出部(3、4)；保管通过该搬入搬出部而搬入该立式热处理装置内的多个搬运容器的第一保管部(5)；收纳多段保持有多片被处理体的保持件(6)，并对被处理体实施规定热处理的热处理炉(7)；和为了在上述保持件与搬运容器之间移载被处理体而承载搬运容器的移载部(8)；其中，作为所述搬入搬出部，设置有上段的搬入搬出部(3)和下段的搬入搬出部(4)，同时，在上段和下段的搬入搬出部之间设置有保管搬运容器的第二保管部(20)。上述搬入搬出部(3，4)中的至少一个作为保管搬运容器(2)的第三保管部(30)。可实现在不增大占用面积的条件下增加搬运容器的保管数量，并实现生产率的提高。
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公开(公告)号：CN1608313A
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：CN02825957.2
申请日：2002-09-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/205 , H01L21/22 , C23C16/458 , C23C16/46 , H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67309 , C23C16/4583 , H01L21/67098
Abstract: 本发明涉及一种热处理用舟式容器，其特征在于具有多根支柱；在所述各支柱上，沿高度方向以规定间隔形成的多个爪部；借助所述爪部，在所述多根支柱之间呈多层安装的、具有可装载被处理体的被处理体装载面的多个支承板；设置于所述被处理体装载面上的槽和贯通孔。根据本发明，由于设置于被处理体装载面上的槽和贯通孔的作用，在支承板的被处理体装载面与被处理体之间形成空气层，可抑制被处理体的粘贴。由此，即使在高温的热处理时，仍可抑制被处理体的粘贴造成的滑动。
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公开(公告)号：CN2684373Y
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN02292606.2
申请日：2002-12-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/324 , H01L21/22
CPC classification number: H01L21/67309 , C23C16/4583 , H01L21/67098
Abstract: 本实用新型提供了一种热处理用的器皿，其特征在于，它具有下列各部分：许多根支柱；在上述各支柱上沿着高度方向隔开规定的间隔形成的许多爪部；通过上述爪部，安装在上述许多根支柱上的许多格上，具有能装载被处理物体的装载面的许多支承板；设置在上述被处理物体的装载面上的沟槽，以及设置在上述沟槽内的许多通孔。按照本实用新型，由于在被处理物体的装载面上设置了沟槽，并且在沟槽内设有许多通孔，因而能阻止在支承板的被处理物体装载面与被处理物体之间形成了一层空气层，以及被处理物体的粘附。借助于这种结构，即使在高温热处理时，也能够阻止被处理物体因粘附而发生滑移。
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