公开(公告)号：CN100403509C

公开(公告)日：2008-07-16

申请号：CN200580001445.0

申请日：2005-10-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 原木健次郎 ,  山本博之 ,  植村聪 ,  角田勇二 ,  竹内靖 ,  酒井裕史

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/67109 ,  Y10S414/14

Abstract: 一种立式热处理装置，包括：将收纳有多片被处理体(W)的搬运容器(2)搬入以及搬出该立式热处理装置用的至少一个搬入搬出部(3、4)；保管通过该搬入搬出部而搬入该立式热处理装置内的多个搬运容器的第一保管部(5)；收纳多段保持有多片被处理体的保持件(6)，并对被处理体实施规定热处理的热处理炉(7)；和为了在上述保持件与搬运容器之间移载被处理体而承载搬运容器的移载部(8)；其中，作为所述搬入搬出部，设置有上段的搬入搬出部(3)和下段的搬入搬出部(4)，同时，在上段和下段的搬入搬出部之间设置有保管搬运容器的第二保管部(20)。上述搬入搬出部(3，4)中的至少一个作为保管搬运容器(2)的第三保管部(30)。可实现在不增大占用面积的条件下增加搬运容器的保管数量，并实现生产率的提高。

公开(公告)号：CN1906748A

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN200580001445.0

申请日：2005-10-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 原木健次郎 ,  山本博之 ,  植村聪 ,  角田勇二 ,  竹内靖 ,  酒井裕史

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/67109 ,  Y10S414/14

Abstract: 一种立式热处理装置，包括：将收纳有多片被处理体(W)的搬运容器(2)搬入以及搬出该立式热处理装置用的至少一个搬入搬出部(3、4)；保管通过该搬入搬出部而搬入该立式热处理装置内的多个搬运容器的第一保管部(5)；收纳多段保持有多片被处理体的保持件(6)，并对被处理体实施规定热处理的热处理炉(7)；和为了在上述保持件与搬运容器之间移载被处理体而承载搬运容器的移载部(8)；其中，作为所述搬入搬出部，设置有上段的搬入搬出部(3)和下段的搬入搬出部(4)，同时，在上段和下段的搬入搬出部之间设置有保管搬运容器的第二保管部(20)。上述搬入搬出部(3，4)中的至少一个作为保管搬运容器(2)的第三保管部(30)。可实现在不增大占用面积的条件下增加搬运容器的保管数量，并实现生产率的提高。