公开(公告)号：CN113451198A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202110266661.9

申请日：2021-03-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 津田荣之辅 ,  鸟屋大辅 ,  米仓总史 ,  武田聪 ,  福留誉司 ,  池田恭子

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  C23C16/54

Abstract: 本发明提供恰当地控制用于载置基板的载置面的温度的基板载置台及基板处理装置。该基板载置台具有：载置台主体，在该载置台主体的内部具有被冷却面；以及供给流路形成构件，该供给流路形成构件由导热性较所述载置台主体低的材料形成，且具有朝向所述被冷却面喷射制冷剂的冷却喷嘴。

公开(公告)号：CN113451198B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202110266661.9

申请日：2021-03-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 津田荣之辅 ,  鸟屋大辅 ,  米仓总史 ,  武田聪 ,  福留誉司 ,  池田恭子

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/67 ,  C23C16/54

Abstract: 本发明提供恰当地控制用于载置基板的载置面的温度的基板载置台及基板处理装置。该基板载置台具有：载置台主体，在该载置台主体的内部具有被冷却面；以及供给流路形成构件，该供给流路形成构件由导热性较所述载置台主体低的材料形成，且具有朝向所述被冷却面喷射制冷剂的冷却喷嘴。

公开(公告)号：CN117588570A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202310958218.7

申请日：2023-08-01

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 米仓总史 ,  竹山环 ,  谷村龙彦 ,  大仓成幸

IPC: F16K1/22 ,  C23C16/52 ,  C23C16/44 ,  H01L21/67 ,  F16K49/00

Abstract: 本发明涉及自动压力控制装置、成膜装置和压力的控制方法。促进排气管内的气体置换且抑制副产物的附着的影响地进行压力制御。包括蝶形阀，其具有阀芯，阀芯安装为可借助轴相对于内壁面形成排气路径的局部的环状的阀座转动，通过使相对于横截面的倾斜角变化而倾斜配置，从而使排气路径的开口面积变化，蝶形阀基于处理容器内的压力的检测结果使阀芯的倾斜角变化而控制处理容器内的压力，阀芯在表面在倾斜配置时位于下游侧的端部的区域形成第1楔形面，在背面在倾斜配置时位于上游侧的端部的区域形成第2楔形面，表面除第1楔形面外的区域与第1楔形面所成的角度和背面除第2楔形面外的区域与第2楔形面所成的角度均大于95度且为150度以下。