公开(公告)号：CN117588570A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202310958218.7

申请日：2023-08-01

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 米仓总史 ,  竹山环 ,  谷村龙彦 ,  大仓成幸

IPC: F16K1/22 ,  C23C16/52 ,  C23C16/44 ,  H01L21/67 ,  F16K49/00

Abstract: 本发明涉及自动压力控制装置、成膜装置和压力的控制方法。促进排气管内的气体置换且抑制副产物的附着的影响地进行压力制御。包括蝶形阀，其具有阀芯，阀芯安装为可借助轴相对于内壁面形成排气路径的局部的环状的阀座转动，通过使相对于横截面的倾斜角变化而倾斜配置，从而使排气路径的开口面积变化，蝶形阀基于处理容器内的压力的检测结果使阀芯的倾斜角变化而控制处理容器内的压力，阀芯在表面在倾斜配置时位于下游侧的端部的区域形成第1楔形面，在背面在倾斜配置时位于上游侧的端部的区域形成第2楔形面，表面除第1楔形面外的区域与第1楔形面所成的角度和背面除第2楔形面外的区域与第2楔形面所成的角度均大于95度且为150度以下。