公开(公告)号：CN110491769A

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201910387938.6

申请日：2019-05-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 守屋瑠美子 ,  伴瀬贵德 ,  佐藤优 ,  秋月侑治 ,  谷川雄洋

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  G06F17/14

Abstract: 本发明提供一种能够更准确地驱动部件的部件的驱动方法。本发明提供一种设置于处理室内的部件的驱动方法，其包括：对上述部件照射具有能够透过上述部件的波长的测量光的步骤；基于来自上述部件的正面的反射光和来自上述部件的背面的反射光，来检测反射光的强度分布的步骤；对表示上述强度分布的光谱进行傅里叶变换来计算光程差的步骤；基于上述光程差来决定上述部件的驱动量的步骤；和基于决定出的上述驱动量驱动上述部件的步骤。

公开(公告)号：CN110491769B

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN201910387938.6

申请日：2019-05-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 守屋瑠美子 ,  伴瀬贵德 ,  佐藤优 ,  秋月侑治 ,  谷川雄洋

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  G06F17/14

Abstract: 本发明提供一种能够更准确地驱动部件的部件的驱动方法。本发明提供一种设置于处理室内的部件的驱动方法，其包括：对上述部件照射具有能够透过上述部件的波长的测量光的步骤；基于来自上述部件的正面的反射光和来自上述部件的背面的反射光，来检测反射光的强度分布的步骤；对表示上述强度分布的光谱进行傅里叶变换来计算光程差的步骤；基于上述光程差来决定上述部件的驱动量的步骤；和基于决定出的上述驱动量驱动上述部件的步骤。

公开(公告)号：CN115706440A

公开(公告)日：2023-02-17

申请号：CN202210881495.8

申请日：2022-07-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 秋月侑治

IPC: H02J7/00 ,  H01R13/02 ,  H01M10/44 ,  H01M10/48 ,  G01D21/02

Abstract: 本发明提供收纳基板状传感器的收纳容器和基板状传感器的充电方法。一种收纳容器，其收纳基板状传感器，其中，该收纳容器具备：容器主体，其具有开口；支承部，其配置于所述容器主体内，支承所述基板状传感器；接触销，其配置于所述容器主体内，能够与所述基板状传感器的端子部接触；驱动机构，其配置于所述容器主体内，驱动所述接触销；旋转轴构件，其从所述容器主体外使所述驱动机构驱动；插座，其配置于所述容器主体外，与所述接触销电连接；以及盖体，其能够封堵所述容器主体的所述开口。