公开(公告)号：CN101521172A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200910118605.X

申请日：2009-02-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 浅川贵志 ,  中村晴兴 ,  榎本雅幸

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  G05B19/418

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/681

Abstract: 本发明提供搬送单元的示教方法、存储介质和基板处理装置，将保持多枚晶片的载体由搬送臂载置到基板处理装置内的载置台时，正确且简易地进行相对于载置台的载体的定位。在搬送载体前，在形成开口部的载置台上，将与载体相同形状且具备在载置台上方理想位置正确定位时拍摄区域中心位置与该开口部中央相对的照相机的载体夹具保持于搬送臂上的保持部。搬送臂的保持部将搬送臂移动到预定的下降开始位置，由照相机拍摄包含开口部的区域。计算在预定的下降开始位置和下降开始位置的理想位置之间，开口部的中心位置和照相机的拍摄区域的中心位置在水平方朝上的偏移量，将该偏移量作为补正量对保持部的下降开始位置进行修正并将载体载置到载置台上。

公开(公告)号：CN101521172B

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN200910118605.X

申请日：2009-02-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 浅川贵志 ,  中村晴兴 ,  榎本雅幸

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  G05B19/418

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/681

Abstract: 本发明提供搬送单元的示教方法、存储介质和基板处理装置，将保持多枚晶片的载体由搬送臂载置到基板处理装置内的载置台时，正确且简易地进行相对于载置台的载体的定位。在搬送载体前，在形成开口部的载置台上，将与载体相同形状且具备在载置台上方理想位置正确定位时拍摄区域中心位置与该开口部中央相对的照相机的载体夹具保持于搬送臂上的保持部。搬送臂的保持部将搬送臂移动到预定的下降开始位置，由照相机拍摄包含开口部的区域。计算在预定的下降开始位置和下降开始位置的理想位置之间，开口部的中心位置和照相机的拍摄区域的中心位置在水平方朝上的偏移量，将该偏移量作为补正量对保持部的下降开始位置进行修正并将载体载置到载置台上。