公开(公告)号：CN1958170B

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN200610142776.2

申请日：2006-10-31

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 五味久 ,  齐藤哲也 ,  挂川崇 ,  间瀬贵久 ,  小泉真 ,  多田国弘 ,  若林哲 ,  成嶋健索 ,  方成

IPC: B05B1/14 ,  C23C16/448 ,  C23C14/00 ,  C23F4/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: C23C16/45565 ,  C23C16/4557 ,  C23C16/45572 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449

Abstract: 本发明提供一种气体喷头(气体供给装置)，其用于CVD装置等，由镍部件组合而构成，防止由于高温引起的镍部件之间相互贴合。用螺钉将形成有大量气体供给孔的由镍部件构成的喷淋板，和与该喷淋板之间形成处理气体流通空间、同时气密地安装在处理容器天井部开口部的周边部的由镍部件构成的基体部件，在周边部位相互接合。在相互的接合面之间，插入不同于镍部件的材质、例如哈斯特洛依耐蚀耐热镍基合金或碳等中间部件。

公开(公告)号：CN1958170A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200610142776.2

申请日：2006-10-31

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 五味久 ,  齐藤哲也 ,  挂川崇 ,  间瀬贵久 ,  小泉真 ,  多田国弘 ,  若林哲 ,  成嶋健索 ,  方成

IPC: B05B1/14 ,  C23C16/448 ,  C23C14/00 ,  C23F4/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: C23C16/45565 ,  C23C16/4557 ,  C23C16/45572 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449

Abstract: 本发明提供一种气体喷头(气体供给装置)，其用于CVD装置等，由镍部件组合而构成，防止由于高温引起的镍部件之间相互贴合。用螺钉将形成有大量气体供给孔的由镍部件构成的喷淋板，和与该喷淋板之间形成处理气体流通空间、同时气密地安装在处理容器天井部开口部的周边部的由镍部件构成的基体部件，在周边部位相互接合。在相互的接合面之间，插入不同于镍部件的材质、例如哈斯特洛依耐蚀耐热镍基合金或碳等中间部件。