公开(公告)号：CN101331378B

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN200680041259.4

申请日：2006-09-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 李世芳 ,  施吉·科玛罗夫 ,  宫城真 ,  斯利韦罗·哈拜罗 ,  鲍君威 ,  乔格·比斯彻夫

IPC: G01B11/24 ,  G01N21/00

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01N21/4788

Abstract: 为了在光学计量中选择重复结构的单位元配置，为重复结构定义多个单位元配置。每个单位元配置由一个或多个单位元参数来定义。所述多个单位元配置中的各个单位元在至少一个单位元参数方面彼此不同。使用一个或多个选择标准来选择所述多个单位元配置中的一个。然后可以利用所选择的单位元配置来表征重复结构的俯视图轮廓。

公开(公告)号：CN101331378A

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200680041259.4

申请日：2006-09-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 李世芳 ,  施吉·科玛罗夫 ,  宫城真 ,  斯利韦罗·哈拜罗 ,  鲍君威 ,  乔格·比斯彻夫

IPC: G01B11/24 ,  G01N21/00

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01N21/4788

Abstract: 为了在光学计量中选择重复结构的单位元配置，为重复结构定义多个单位元配置。每个单位元配置由一个或多个单位元参数来定义。所述多个单位元配置中的各个单位元在至少一个单位元参数方面彼此不同。使用一个或多个选择标准来选择所述多个单位元配置中的一个。然后可以利用所选择的单位元配置来表征重复结构的俯视图轮廓。