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公开(公告)号：CN101529344A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200780039681.0
申请日：2007-11-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 山上宗隆
CPC classification number: G05B19/0421 , G05B2219/2231 , G06F3/1454 , G09G5/001 , H01L21/67155
Abstract: 上位PC(100)与控制多个PM或者TM的多个下位PC(200)连接。上位PC(100)根据来自下位PC(200)的画面的操作要求，判断是否将操作权分配给提出要求的下位PC(200)。
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公开(公告)号：CN103069551A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180041451.4
申请日：2011-08-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: G01N21/55 , H01J37/32192 , H01J37/32972 , H01L21/31116 , H01L22/12 , H01L22/26 , H01L29/6659 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 不影响平板缝隙天线的电磁波辐射特性的均匀性就能够使用波长区域较宽的非相干监视光来高精度地对处理容器内的被处理基板的表面进行光学监视。该微波等离子体蚀刻装置中的光学监视装置（100）具有：监视头（102），其在比载置在基座（12）上的半导体晶圆（W）的边缘靠径向内侧且比同轴管（66）靠径向外侧的位置配置在冷却套筒板（72）之上；监视用的光波导路（104），其以从该监视头（102）起向铅垂下方纵穿盖板（72）、电介质板（56）、缝隙板（54）以及电介质窗（52）的方式设置；以及监视主体（108），其经由光纤（106）与监视头（102）光学耦合。
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公开(公告)号：CN101903975B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200880122229.5
申请日：2008-12-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 山上宗隆
IPC: H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B2219/31477 , G05B2219/32187 , G05B2219/45031 , H01L21/67109 , H01L22/20 , H01L2924/0002 , Y02P90/12 , Y02P90/22 , H01L2924/00
Abstract: 解决以往无法有效且迅速地调节半导体制造参数的问题。一种信息处理装置，包括：目标值接受部(101)，其接受半导体制造工艺的一个以上种类的目标值；参数获取部(102)，其获取执行半导体制造工艺时的一种以上种类的参数的值；执行结果获取部(103)，其获取表示半导体制造工艺的执行结果的一种以上种类的执行结果；储存部(105)，其将执行结果、目标值、参数的值对应起来储存；相关性获取部(107)，其获取储存的执行结果、目标值以及参数的值之间的相关性信息；辅助信息获取部(108)，其使用由相关性获取部(107)获取的相关性信息来获取辅助信息，该辅助信息是与针对目标值接受部(101)所接受的目标值相关性高的参数有关的信息；输出部，其输出由辅助信息获取部获取的辅助信息。
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公开(公告)号：CN101903975A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200880122229.5
申请日：2008-12-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 山上宗隆
IPC: H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC classification number: G05B19/41875 , G05B2219/31477 , G05B2219/32187 , G05B2219/45031 , H01L21/67109 , H01L22/20 , H01L2924/0002 , Y02P90/12 , Y02P90/22 , H01L2924/00
Abstract: 解决以往无法有效且迅速地调节半导体制造参数的问题。一种信息处理装置，包括：目标值接受部(101)，其接受半导体制造工艺的一个以上种类的目标值；参数获取部(102)，其获取执行半导体制造工艺时的一种以上种类的参数的值；执行结果获取部(103)，其获取表示半导体制造工艺的执行结果的一种以上种类的执行结果；储存部(105)，其将执行结果、目标值、参数的值对应起来储存；相关性获取部(107)，其获取储存的执行结果、目标值以及参数的值之间的相关性信息；辅助信息获取部(108)，其使用由相关性获取部(107)获取的相关性信息来获取辅助信息，该辅助信息是与针对目标值接受部(101)所接受的目标值相关性高的参数有关的信息；输出部，其输出由辅助信息获取部获取的辅助信息。
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