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公开(公告)号：CN1320624C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN02807495.5
申请日：2002-04-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67184 , H01L21/67167 , H01L21/67276 , H01L21/67745 , Y10S414/139
Abstract: 以在装载锁定室(LL1、LL2)和装载器组件(LM)之间的晶片(W)的交换计时作为基准、在将晶片(W)搬入任何一个装载锁定室(LL1、LL2)中的时刻(Tp)，计算直到可以将下一个晶片(W)搬入该装载锁定室(LL1、LL2)的时间(PSL)。然后，如果计算出该时间(PSL)，装载臂(LA1、LA2)将直到可以搬入装载锁定室(LL1、LL2)的时间为最短的下一个晶片(W)从载入机(LP1～LP3)中选择。通过这样，改善了在设置有装载锁定室的集束传输装置中的传送延迟。
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公开(公告)号：CN1779906A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200510117318.9
申请日：2005-11-01
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/67 , H01L21/20 , H01L21/3065 , G05B19/418
Abstract: 提供一种可以使处理效率飞跃地提高的基板处理方法。作为晶片处理的基板处理方法，在具有基板处理装置(2)、大气输送装置(3)以及负载锁定室(4)的基板处理系统(1)中执行，具有输送半导体晶片W的基板输送工序(工序S43和S49)、和对半导体晶片W进行蚀刻处理的基板处理工序(工序S44～S48)，基板输送工序和基板处理工序由多个动作构成，该基板处理方法，使构成各工序的多个动作中的至少2个动作并行地执行。
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公开(公告)号：CN100474185C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200610001489.X
申请日：2006-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 本发明提供一种能减少操作员的工时的基板处理装置的检查方法。在基板处理装置的清扫时期，主计算机对基板处理装置指示禁止向该基板处理装置内输送制品用基板，基板处理装置将在规定的检查项目的检查中所使用的检查用基板的种类以及个数，通知给主计算机，主计算机将检查用基板的准备结束，通知给基板处理装置。
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公开(公告)号：CN1811622A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200610001489.X
申请日：2006-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 本发明提供一种能减少操作员的工时的基板处理装置的检查方法。在基板处理装置的清扫时期，主计算机对基板处理装置指示禁止向该基板处理装置内输送制品用基板，基板处理装置将在规定的检查项目的检查中所使用的检查用基板的种类以及个数，通知给主计算机，主计算机将检查用基板的准备结束，通知给基板处理装置。
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公开(公告)号：CN1547768A
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN02807495.5
申请日：2002-04-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67184 , H01L21/67167 , H01L21/67276 , H01L21/67745 , Y10S414/139
Abstract: 以在装载锁定室(LL1、LL2)和装载器组件(LM)之间的晶片(W)的交换计时作为基准、在将晶片(W)搬入任何一个装载锁定室(LL1、LL2)中的时刻(Tp)，计算直到可以将下一个晶片(W)搬入该装载锁定室(LL1、LL2)的时间(PSL)。然后，如果计算出该时间(PSL)，装载臂(LA1、LA2)将直到可以搬入装载锁定室(LL1、LL2)的时间为最短的下一个晶片(W)从载入机(LP1～LP3)中选择。通过这样，改善了在设置有装载锁定室的集束传输装置中的传送延迟。
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