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公开(公告)号：CN108417712A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810116963.6
申请日：2018-02-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , B05C5/0291 , B05C13/02 , B41J2/01 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L51/0005 , H01L51/0029 , H01L51/0096 , H01L51/0003 , H01L51/0014
Abstract: 本发明提供一种能够提高基片的位置控制性的涂敷装置。该涂敷装置，其使功能液的液滴在基片的着液位置在主扫描方向和副扫描方向上移动，在基片上描绘功能液的描绘图案，包括：利用气体的风压使基片浮起在规定的高度的台部；液滴排出部，其向浮起在距台部规定的高度的基片滴注功能液的液滴；主扫描方向移动部，其保持浮起在距台部规定的高度的基片并且使该基片在主扫描方向上移动；和副扫描方向移动部，其使液滴排出部相对于浮起在距台部规定的高度的基片在副扫描方向上移动，在反复进行主扫描方向移动部使基片在主扫描方向上移动并且液滴排出部滴注液滴的处理期间，副扫描方向移动部使液滴排出部在副扫描方向上移动。
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公开(公告)号：CN101431008A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810174786.3
申请日：2008-11-05
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , H01L21/027 , B65G49/06 , G03F7/16 , B05C13/02 , B05C5/00 , B05D1/00
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和涂敷装置和涂敷方法，其特征在于：在悬浮载物台上将矩形的被处理基板以简易的结构保持为适合处理的一定的姿势并稳定地进行悬浮搬送。第一(左侧)和第二(右侧)的搬送部(84L、84R)中的第一和第二保持部(106L、106R)，具有：分别通过真空吸附力结合在基板G的左侧两个角落的背面(下表面)和右侧两个角落的背面(下表面)的两个吸附垫(108L、108R)；沿着搬送方向(X方向)在隔开规定间隔的两个位置限制各吸附垫(108L、108R)在铅垂方向的位移并进行支撑的一对垫支撑部(110L、110R)；使上述一对垫支撑部(110L、110R)分别独立地进行升降移动或者升降位移的一对的垫致动器(112L、112R)。
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公开(公告)号：CN113926615A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202110691128.7
申请日：2021-06-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B05B13/02
Abstract: 本发明提供能够使基片输送的误差减少的基片处理装置和基片处理方法。本发明的实施方式的基片处理装置包括引导部、输送装置和加工部。引导部沿着基片的输送方向延伸。输送装置用于沿着输送方向输送基片。加工部用于对沿着输送方向被输送的基片实施加工处理。输送装置包括保持部、移动部和调整部。保持部用于保持基片。移动部能够支承保持部、并且沿着引导部移动。调整部用于对移动部的在与输送方向正交的方向上的位置进行调整，调整部的至少一部分与移动部设置在同一水平面上。
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公开(公告)号：CN113363179A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110200405.X
申请日：2021-02-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 三根阳介
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种绘制装置和绘制方法。实施方式的绘制装置包括绘制部和维护部。绘制部从多个释放头对沿运送方向移动的工件释放功能液，来对工件进行绘制。维护部具有在沿运送方向移动到绘制部的下方的状态下进行多个释放头的检查的检查部。根据本发明，能够减小绘制装置的装置面积。
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公开(公告)号：CN112138896A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202010552402.8
申请日：2020-06-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 三根阳介
Abstract: 本发明提供一种液滴释放装置。实施方式的液滴释放装置包括输送机构、释放头、第1介质输送部、第2介质输送部和摄像部。输送机构沿输送方向输送工件。释放头对工件释放功能液的液滴。第1介质输送部在与输送方向正交的方向上输送能够接收从释放头释放的检查用的液滴的第1检查用介质。第2介质输送部在正交的方向上输送第2检查用介质，该第2检查用介质能够接收从释放头释放的检查用的液滴，并与第1检查用介质在输送方向上并排配置。摄像部拍摄释放到第1检查用介质的液滴和释放到第2检查用介质的液滴。本发明能够高效地进行液滴的释放状态的调整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102074456B
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201010516316.8
申请日：2010-10-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/027 , G03F7/38
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置，通过滚轮搬送高效、安全且顺畅地进行基板的搬入、搬出，在减压干燥处理中通过任意粗度的销对基板进行支承，并尽可能抑制在基板上的涂敷膜附着基板接触部的转印痕迹。该减压干燥单元(12)将进行被处理基板(G)的平流搬送的滚轮搬送路径(38B)引入到腔室(40)内，利用基板升降机构(60)在腔室(40)内使基板(G)通过升降销(62)进行上下。而且，在比升降销(62)的销前部稍低(通常10mm以下)的位置上水平设置有遮蔽板(100)，能够通过遮蔽板升降机构(102)使该遮蔽板(100)的高度位置可变。
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公开(公告)号：CN116922954A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310399543.4
申请日：2023-04-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供抑制由干燥导致的释放不良的液滴释放装置、液滴释放方法和存储介质。液滴释放装置具有工作台、释放头、移动部和冲流部。释放头具有释放功能液的多个喷嘴，从喷嘴对位于工作台之上的基片释放功能液。移动部使位于工作台之上的基片与释放头相对移动。冲流部在利用移动部进行的相对移动中在释放头位于基片的上方之前接收从释放头释放的功能液。冲流部具有：接收功能液的垫状物；和将由垫状物接收到的功能液排出的排液管。
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公开(公告)号：CN115138501A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210262846.7
申请日：2022-03-17
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 三根阳介
Abstract: 本发明的液滴释放装置和液滴释放方法能够稳定地进行液滴的释放状态的检查。液滴释放装置包括输送机构、多个释放头、检查台、介质输送部和拍摄部。输送机构沿着输送方向输送工件。多个释放头对工件释放功能液的液滴。检查台吸附检查用介质，该检查用介质接收从多个释放头释放的检查用的液滴。介质输送部在与输送方向正交的方向上输送检查用介质。拍摄部拍摄被释放到检查用介质的液滴。检查台具有多个第一分割台和多个第二分割台。多个第一分割台沿着正交的方向彼此连结。多个第二分割台相对于多个第一分割台在输送方向上相邻地配置，且沿着正交的方向彼此连结，多个第二分割台的接缝位于与多个第一分割台的接缝在输送方向上不重叠的位置。
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公开(公告)号：CN112566730A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201980053167.5
申请日：2019-08-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明的实施方式的绘制装置(1)包括多个支承部(51)、移动部(53)、调节部(30、31)和绘制部(32)。多个支承部(51)从下方支承工件。移动部(53)使支承部(51)沿水平方向移动。调节部(30、31)对支承于支承部(51)的工件从下方吹去空气来调节工件的浮起高度。绘制部(32)对工件进行绘制，该工件由调节部(30、31)调节了浮起高度并以支承于支承部(51)的方式移动。调节部(21、30、31、40)包括：在支承部(51)的移动方向上设置在比绘制部(32)靠上游侧处的第1调节部(30)；和设置在绘制部(32)的下方的、比第1调节部(30)高精度地调节工件的浮起高度的第2调节部(31)。
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公开(公告)号：CN102012643B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201010277683.7
申请日：2010-09-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G03F7/38
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，能够在对被处理基板上的涂敷膜迅速地进行减压干燥处理的工艺和缓慢地进行减压干燥处理的工艺之间有选择性地进行切换。在该减压干燥单元(214)中，气流控制部(260)包括：位于下部腔室(224)的沿Y方向相对的侧壁224(2)、224(4)的内侧、并配置在载置台(230)的两侧的第一分隔板(262A、262B)；使该第一分隔板(262A、262B)在第一高度位置和第二高度位置之间升降移动的第一升降机构(264)。而且，气流控制部(260)包括：配置在载置台(230)的周围或旁边的、横截面呈コ字状的第二分隔板(276)；使该第二分隔板(276)在第三高度位置和第四高度位置之间升降移动的第二升降机构(278)。
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