公开(公告)号：CN106232868A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201580020201.0

申请日：2015-02-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 山下雅充 ,  阵田敏行 ,  藤元高佳 ,  宫下胜好

IPC: C23C16/54

CPC classification number: C23C14/562 ,  C23C14/042 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/505 ,  C23C16/545

Abstract: 本发明提供一种薄膜形成装置，该薄膜形成装置通过抑制一个制膜腔室中的薄膜材料气体进入其他制膜腔室，能够抑制所形成的薄膜的膜质的下降。即，该薄膜形成装置通过在使带状基材沿着主辊的外周面的状态下对带状基材进行输送并进行表面处理，由此在带状基材上形成薄膜，该薄膜形成装置以下述方式构成：其具备收纳主辊的主辊腔室以及在主辊的外径侧周向排列的多个制膜腔室，在所述间隔部上设置有将带状基材所移动的主辊的外周面覆盖的主辊罩，在该主辊罩上形成有与所述制膜腔室连通的制膜腔室连通部，将由所述主辊罩和主辊的外周面形成的主辊罩内的压力设定成比所述制膜腔室的压力高。

公开(公告)号：CN106232868B

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201580020201.0

申请日：2015-02-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 山下雅充 ,  阵田敏行 ,  藤元高佳 ,  宫下胜好

IPC: C23C16/54

Abstract: 本发明提供一种薄膜形成装置，该薄膜形成装置通过抑制一个制膜腔室中的薄膜材料气体进入其他制膜腔室，能够抑制所形成的薄膜的膜质的下降。即，该薄膜形成装置通过在使带状基材沿着主辊的外周面的状态下对带状基材进行输送并进行表面处理，由此在带状基材上形成薄膜，该薄膜形成装置以下述方式构成：其具备收纳主辊的主辊腔室以及在主辊的外径侧周向排列的多个制膜腔室，在所述间隔部上设置有将带状基材所移动的主辊的外周面覆盖的主辊罩，在该主辊罩上形成有与所述制膜腔室连通的制膜腔室连通部，将由所述主辊罩和主辊的外周面形成的主辊罩内的压力设定成比所述制膜腔室的压力高。