公开(公告)号：CN1343751A

公开(公告)日：2002-04-10

申请号：CN01141167.8

申请日：1997-12-05

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 三蒲司朗 ,  河村笃纪 ,  玉井一诚

IPC: C09G1/14

CPC classification number: H01L21/02024 ,  C09G1/02

Abstract: 一种抛光剂组合物,它包含气相二氧化硅、碱性钾化合物及水,其电导率为100－5,500μs/cm。

公开(公告)号：CN1343752A

公开(公告)日：2002-04-10

申请号：CN01141168.6

申请日：1997-12-05

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 三蒲司朗 ,  河村笃纪 ,  玉井一诚

IPC: C09G1/14

CPC classification number: H01L21/02024 ,  C09G1/02

Abstract: 一种抛光剂组合物,它包含气相二氧化硅、碱性钾化合物及水,其电导率为100－5,500μs/cm。

公开(公告)号：CN1754935A

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN200510104170.5

申请日：2005-09-16

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 平野达彦 ,  吴俊辉 ,  阪尾章史 ,  河村笃纪 ,  堀和伸

IPC: C09K3/14 ,  H01L21/304

CPC classification number: C09K3/1463 ,  C09G1/02 ,  H01L21/3212

Abstract: 一种抛光组合物，含有以下(a)至(e)组分：(a)二氧化硅，(b)碱性化合物，(c)防腐蚀剂，(d)水溶性聚合物，(e)水。

公开(公告)号：CN1343750A

公开(公告)日：2002-04-10

申请号：CN01141166.X

申请日：1997-12-05

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 三蒲司朗 ,  河村笃纪 ,  玉井一诚

IPC: C09G1/14

CPC classification number: H01L21/02024 ,  C09G1/02

Abstract: 一种抛光剂组合物,它包含气相二氧化硅、碱性钾化合物及水,其电导率为100－5,500μs/cm。

公开(公告)号：CN1161999A

公开(公告)日：1997-10-15

申请号：CN97101813.8

申请日：1997-01-28

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 児玉一志 ,  铃村聡 ,  横道典孝 ,  三浦史朗 ,  大竹秀树 ,  河村笃纪 ,  伊东真时

IPC: C09G1/18

CPC classification number: C09G1/02

Abstract: 一种抛光组合物，它含有氮化硅细粉、水和一种酸。

公开(公告)号：CN1075541C

公开(公告)日：2001-11-28

申请号：CN97101813.8

申请日：1997-01-28

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 児玉一志 ,  铃木聡 ,  横道典孝 ,  三浦史朗 ,  大竹秀树 ,  河村笃纪 ,  伊东真时

IPC: C09G1/18

CPC classification number: C09G1/02

Abstract: 一种抛光组合物，它含有氮化硅细粉、水和一种酸。

公开(公告)号：CN1185471A

公开(公告)日：1998-06-24

申请号：CN97126031.1

申请日：1997-12-05

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 三蒲司朗 ,  河村笃纪 ,  玉井一诚

IPC: C09G1/18

CPC classification number: H01L21/02024 ,  C09G1/02

Abstract: 一种抛光剂组合物,它包含气相二氧化硅、碱性钾化合物及水,其电导率为100—5,500μs/cm。