公开(公告)号：CN1343751A

公开(公告)日：2002-04-10

申请号：CN01141167.8

申请日：1997-12-05

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 三蒲司朗 ,  河村笃纪 ,  玉井一诚

IPC: C09G1/14

CPC classification number: H01L21/02024 ,  C09G1/02

Abstract: 一种抛光剂组合物,它包含气相二氧化硅、碱性钾化合物及水,其电导率为100－5,500μs/cm。

公开(公告)号：CN1343750A

公开(公告)日：2002-04-10

申请号：CN01141166.X

申请日：1997-12-05

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 三蒲司朗 ,  河村笃纪 ,  玉井一诚

IPC: C09G1/14

CPC classification number: H01L21/02024 ,  C09G1/02

Abstract: 一种抛光剂组合物,它包含气相二氧化硅、碱性钾化合物及水,其电导率为100－5,500μs/cm。

公开(公告)号：CN1185471A

公开(公告)日：1998-06-24

申请号：CN97126031.1

申请日：1997-12-05

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 三蒲司朗 ,  河村笃纪 ,  玉井一诚

IPC: C09G1/18

CPC classification number: H01L21/02024 ,  C09G1/02

Abstract: 一种抛光剂组合物,它包含气相二氧化硅、碱性钾化合物及水,其电导率为100—5,500μs/cm。

公开(公告)号：CN1343752A

公开(公告)日：2002-04-10

申请号：CN01141168.6

申请日：1997-12-05

Applicant: 不二见株式会社

Inventor： 三蒲司朗 ,  河村笃纪 ,  玉井一诚

IPC: C09G1/14

CPC classification number: H01L21/02024 ,  C09G1/02

Abstract: 一种抛光剂组合物,它包含气相二氧化硅、碱性钾化合物及水,其电导率为100－5,500μs/cm。