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公开(公告)号：CN102506764B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201110310757.7
申请日：2011-10-14
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明涉及一种用于位移直线度测量的激光干涉系统，包含激光源、随被测件一起运动的楔角棱镜、位于该楔角棱镜一侧的光反射装置、位于所述楔角棱镜的另一侧与所述激光源之间的光干涉装置以及相位检测装置。其中，激光源产生频率稳定的入射光束，入射光束在光干涉装置的作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角和光反射装置反射，最后被输入相位检测装置，以相位差的变化量确定被测件的直线度。本发明的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。
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公开(公告)号：CN109781034B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201910056987.1
申请日：2019-01-22
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明提出了一种微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪以及测量方法，其通过采用双频激光光源发出的光经Koster棱镜将其分为两束频率不同、振动方向不同的光，两束光通过四分之一波片、楔面棱镜、楔面反射镜后汇聚从Koster棱镜另一面射出后，经角隅棱镜反射的光束经过分光棱镜BS，其中一束直接进入Koster棱镜返回测量系统中，另一束经直角棱镜和二分之一波片后进入Koster棱镜返回测量系统中。同时，将滚转角的旋转转化为光路的旋转，计算通过楔面棱镜的六束光的关系获得滚转角误差和直线度误差。本发明提供的方法，能够实现微小滚转角与直线度同步高精度测量。
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公开(公告)号：CN104613902A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201410746892.X
申请日：2011-10-14
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/27
Abstract: 本发明涉及一种用于位移直线度测量的激光干涉系统，包含激光源、随被测件一起运动的楔角棱镜、位于该楔角棱镜一侧的光反射装置、位于所述楔角棱镜的另一侧与所述激光源之间的光干涉装置以及相位检测装置。其中，激光源产生频率稳定的入射光束，入射光束在光干涉装置的作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角和光反射装置反射，最后被输入相位检测装置，以相位差的变化量确定被测件的直线度。本发明的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。
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公开(公告)号：CN104613902B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201410746892.X
申请日：2011-10-14
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/27
Abstract: 本发明涉及一种用于位移直线度测量的激光干涉系统，包含激光源、随被测件一起运动的楔角棱镜、位于该楔角棱镜一侧的光反射装置、位于所述楔角棱镜的另一侧与所述激光源之间的光干涉装置以及相位检测装置。其中，激光源产生频率稳定的入射光束，入射光束在光干涉装置的作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角和光反射装置反射，最后被输入相位检测装置，以相位差的变化量确定被测件的直线度。本发明的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。
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公开(公告)号：CN103424878B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201210509053.7
申请日：2012-12-02
Applicant: 上海理工大学
IPC: G02B27/28
Abstract: 本发明的一种偏振分光装置，其特征在于，具有平行的第一平面和第二平面；包括：两个规格相同的三角棱镜和两个规格相同的四角棱镜，三角棱镜的第二斜面与四角棱镜的第一斜面胶合，形成具有两个平行面的梯形棱镜，梯形棱镜两两间在第一直角面胶合，该直角面镀有偏振分光膜。本发明的偏振分光装置可完成正交线偏振光的分束和合并。可将输入光分成两束相互正交的线偏振光并平行出射；也可将两束平行输入相互正交的线偏振光合并为一束光，并平行出射。采用该偏振分光装置使得激光外差干涉系统体积减小，测量臂和干涉臂共光路，减少误差。本发明的优点是：结构简单、控制稳定且不改变光传输方向的一种偏振分光装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102519356B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201110419049.7
申请日：2011-12-15
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于全反射的光路互换装置。它由8个规格相同的等腰直角棱镜组成；8个棱镜构成形成于入射光束和出射光束之间的光路结构控制系统，平行入射的两束光线经该系统四次全反射后平行出射，实现位置互换，但并不改变两光线的间隔及光学特性。它是一种体积小、结构简单、控制稳定且对光束偏振态无影响的光路互换装置。
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公开(公告)号：CN102589471A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210057590.2
申请日：2012-03-06
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明揭示了一种并行共焦检测系统及方法，所述系统包括单色LED光源、数字微镜、两个透镜、分光棱镜、电控可变焦透镜、探测针孔、光强探测器、电压控制器、PC。单色LED光源发出的光通过经过集光镜照射到数字微镜表面，光源被数字微镜调制后形成针孔阵列，再通过透镜变为平行光束聚焦的被测物表面，被测物反射的光入射到光强阵列探测器上，通过PC记录光强度，通过数字微镜器件实现对样品的横向或轴向扫描。通过PC控制加到电控可变焦透镜上的电压，使可变焦透镜的焦距改变一个微小的值Δf，此时再记录探测器上的光强数值；根据扫描后得到的光强值，得到被测物对应点的轴向的位置；对整个被测物表面轮廓的测量。本发明可提高系统的稳定性及扫描速度。
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公开(公告)号：CN101650166B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN200910167309.9
申请日：2009-08-13
Applicant: 上海理工大学
CPC classification number: G01B9/02007 , G01B9/02003 , G01B9/02018 , G01B9/02019 , G01B11/26 , G01B2290/15 , G01B2290/70
Abstract: 一种用于测量围绕线位移方向微旋转角度的激光干涉系统，由激光源、偏振分光棱镜、两个四分之一波片、角隅棱镜、楔角棱镜、楔角反射镜、偏振器、光电检测器和相位计构成；激光源产生频率稳定的入射光束，同时给出一个稳定的参考信号源；入射光束在分光棱镜、四分之一波片和角隅棱镜作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角反射镜反射，最后由偏振分光棱镜射出；通过起偏器的干涉，由光电检测器接收并产生电测量信号，通过相位计与电参考信号进行比相，即可测出与被测件固定连接的楔角反射镜的微旋转角度。本发明的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。
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公开(公告)号：CN105571529B
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201610039628.1
申请日：2016-01-21
Applicant: 上海理工大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开了一种用于角度测量无非线性误差的激光外差干涉系统，包括单频激光源、声光频移单元、光干涉装置、随被测件运动的平面反射镜以及相位检测装置。其中，单频激光源结合声光频移单元可产生无频率混叠、具有一定频差、空间分离的入射光束，入射光束在光干涉装置的作用下，两次被平面镜反射，最后输入到相位检测装置，以相位差的变化量确定被测件的偏摆角。具有一定频差的测量光束从声光频移单元产生到干涉前，传输路径分开，空间独立。本发明避免了干涉光路中两种频率的偏振光不能完全分开导致的周期性非线性误差的产生，从而有效提高测量精度。本发明可广泛用于数控机床、军工及航天等领域的几何量精密测量。
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公开(公告)号：CN108489424A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810335853.9
申请日：2018-04-13
Applicant: 上海理工大学
CPC classification number: G01B11/26 , G01B11/272
Abstract: 本发明涉及一种用于滚转角和直线度测量的激光干涉系统，让角位移的信息量在两束频率不同的激光的光程差中体现出来，实现滚转角与直线度的测量，通过分光器件，使两束激光在同一个系统中分别携带不同的光学信息，以此反映出滚转角与直线度的变化，实现同一系统滚转角和直线度的测量。测量精度达到纳米级，测量结果可以直接溯源，结构简单且稳定可靠。
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