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公开(公告)号：CN108489424A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810335853.9
申请日：2018-04-13
Applicant: 上海理工大学
CPC classification number: G01B11/26 , G01B11/272
Abstract: 本发明涉及一种用于滚转角和直线度测量的激光干涉系统，让角位移的信息量在两束频率不同的激光的光程差中体现出来，实现滚转角与直线度的测量，通过分光器件，使两束激光在同一个系统中分别携带不同的光学信息，以此反映出滚转角与直线度的变化，实现同一系统滚转角和直线度的测量。测量精度达到纳米级，测量结果可以直接溯源，结构简单且稳定可靠。
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