公开(公告)号：CN101650166B

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN200910167309.9

申请日：2009-08-13

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 侯文玫 ,  赵宪斌 ,  张运波

IPC: G01B11/26 ,  G02B5/04 ,  G02B27/28 ,  G02B5/08 ,  G02B1/10

CPC classification number: G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02019 ,  G01B11/26 ,  G01B2290/15 ,  G01B2290/70

Abstract: 一种用于测量围绕线位移方向微旋转角度的激光干涉系统，由激光源、偏振分光棱镜、两个四分之一波片、角隅棱镜、楔角棱镜、楔角反射镜、偏振器、光电检测器和相位计构成；激光源产生频率稳定的入射光束，同时给出一个稳定的参考信号源；入射光束在分光棱镜、四分之一波片和角隅棱镜作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角反射镜反射，最后由偏振分光棱镜射出；通过起偏器的干涉，由光电检测器接收并产生电测量信号，通过相位计与电参考信号进行比相，即可测出与被测件固定连接的楔角反射镜的微旋转角度。本发明的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。

公开(公告)号：CN101650166A

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200910167309.9

申请日：2009-08-13

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 侯文玫 ,  赵宪斌 ,  张运波

IPC: G01B11/26 ,  G02B5/04 ,  G02B27/28 ,  G02B5/08 ,  G02B1/10

CPC classification number: G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02019 ,  G01B11/26 ,  G01B2290/15 ,  G01B2290/70

Abstract: 一种用于测量围绕线位移方向微旋转角度的激光干涉系统，由激光源、偏振分光棱镜、两个四分之一波片、角隅棱镜、楔角棱镜、楔角反射镜、偏振器、光电检测器和相位计构成；激光源产生频率稳定的入射光束，同时给出一个稳定的参考信号源；入射光束在分光棱镜、四分之一波片和角隅棱镜作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角反射镜反射，最后由偏振分光棱镜射出；通过起偏器的干涉，由光电检测器接收并产生电测量信号，通过相位计与电参考信号进行比相，即可测出与被测件固定连接的楔角反射镜的微旋转角度。本发明的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。