公开(公告)号：CN102589471A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210057590.2

申请日：2012-03-06

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 张运波 ,  杨召雷 ,  句爱松 ,  彭博方 ,  董洪波 ,  胡凯 ,  侯文玫

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明揭示了一种并行共焦检测系统及方法，所述系统包括单色LED光源、数字微镜、两个透镜、分光棱镜、电控可变焦透镜、探测针孔、光强探测器、电压控制器、PC。单色LED光源发出的光通过经过集光镜照射到数字微镜表面，光源被数字微镜调制后形成针孔阵列，再通过透镜变为平行光束聚焦的被测物表面，被测物反射的光入射到光强阵列探测器上，通过PC记录光强度，通过数字微镜器件实现对样品的横向或轴向扫描。通过PC控制加到电控可变焦透镜上的电压，使可变焦透镜的焦距改变一个微小的值Δf，此时再记录探测器上的光强数值；根据扫描后得到的光强值，得到被测物对应点的轴向的位置；对整个被测物表面轮廓的测量。本发明可提高系统的稳定性及扫描速度。

公开(公告)号：CN202853565U

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201220310628.8

申请日：2012-06-29

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 句爱松 ,  彭博方 ,  杨召雷 ,  董洪波 ,  胡凯 ,  侯文玫

IPC: G01B9/02

Abstract: 本实用新型公开了一种声光式外差干涉仪的光路装置，包括：光源、分光镜、平面镜、一对声光调制器、偏振分光镜、一对四分之一波片、一对角锥棱镜、一对偏振片和一对光接收器。该装置利用声光调制器对入射光的位相和频率进行调制，利用其一级衍射光作为出射光，获得频率稳定性好且频差较高的双频激光，He-Ne激光器所发出的激光经分光镜分光及声光调制器后，分别经过不同的光路，所设计干涉光路两束光为非共光路，但不存在光学死程的现象。本实用新型稳定性好、光学结构简单、容易调整；可以应用于高速测量。