公开(公告)号：CN103294078A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201210041402.7

申请日：2012-02-22

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 吴飞 ,  龙鹏程 ,  魏巍 ,  袁志扬 ,  张洪博

IPC: G05D23/19

Abstract: 本发明提出一种模块化温度控制装置，包括依次连接的具有电泵控制单元的介质驱动电泵、温度控制单元和多个介质冷却模块，所述介质冷却模块包括：相互连接的介质冷却基板模块上板和介质冷却基板模块下板；快速连接接头，设置于所述介质冷却基板模块下板的侧面，其中，所述介质冷却基板模块下板具有四方双螺旋型内腔，其四周具有四个流体出入口用于连接所述快速连接接头。本发明提出的模块化温度控制装置，基于模块化的设计思想，将测量系统中的热交换界面设计成模块化介质冷却基板，便于快捷安装和配置的，由基本模块组装成符合工况所需的结构形式，适合光刻机中多系统冷却的工程需求。

公开(公告)号：CN103294078B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201210041402.7

申请日：2012-02-22

Applicant: 上海微电子装备有限公司

Inventor： 吴飞 ,  龙鹏程 ,  魏巍 ,  袁志扬 ,  张洪博

IPC: G05D23/19

Abstract: 本发明提出一种模块化温度控制装置，包括依次连接的具有电泵控制单元的介质驱动电泵、温度控制单元和多个介质冷却模块，所述介质冷却模块包括：相互连接的介质冷却基板模块上板和介质冷却基板模块下板；快速连接接头，设置于所述介质冷却基板模块下板的侧面，其中，所述介质冷却基板模块下板具有四方双螺旋型内腔，其四周具有四个流体出入口用于连接所述快速连接接头。本发明提出的模块化温度控制装置，基于模块化的设计思想，将测量系统中的热交换界面设计成模块化介质冷却基板，便于快捷安装和配置的，由基本模块组装成符合工况所需的结构形式，适合光刻机中多系统冷却的工程需求。