公开(公告)号：CN113983918B

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202111263003.0

申请日：2021-10-28

Applicant: 上海隐冠半导体技术有限公司 ,  上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 马甲帅 ,  杨庆华 ,  胡灿然 ,  孙源 ,  吴立伟

IPC: G01B7/02

Abstract: 本发明公开了一种电涡流传感器检测电路，包括脉冲发生电路、脉冲放大电路、线圈模块、信号传输模块和处理模块；线圈模块包括激励线圈、传感线圈、采样电阻；传感线圈和采样电阻形成第一信号衰减回路；处理模块触发脉冲发生电路产生脉冲信号；脉冲放大电路将所述脉冲信号进行放大处理后输入所述激励线圈；所述激励线圈产生磁场；所述传感线圈在所述磁场的激励下产生激励电流信号，所述激励电流信号在第一信号衰减回路内衰减；所述信号传输模块对所述采样电阻采样到的电压信号进行处理，并将处理后的电压信号传输给所述处理模块；处理模块根据获得的信号数据计算所述激励电流信号的衰减时间常数，并根据所述衰减时间常数计算所述传感线圈的电感值。

公开(公告)号：CN113983918A

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN202111263003.0

申请日：2021-10-28

Applicant: 上海隐冠半导体技术有限公司 ,  上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 马甲帅 ,  杨庆华 ,  胡灿然 ,  孙源 ,  吴立伟

IPC: G01B7/02

Abstract: 本发明公开了一种电涡流传感器检测电路，包括脉冲发生电路、脉冲放大电路、线圈模块、信号传输模块和处理模块；线圈模块包括激励线圈、传感线圈、采样电阻；传感线圈和采样电阻形成第一信号衰减回路；处理模块触发脉冲发生电路产生脉冲信号；脉冲放大电路将所述脉冲信号进行放大处理后输入所述激励线圈；所述激励线圈产生磁场；所述传感线圈在所述磁场的激励下产生激励电流信号，所述激励电流信号在第一信号衰减回路内衰减；所述信号传输模块对所述采样电阻采样到的电压信号进行处理，并将处理后的电压信号传输给所述处理模块；处理模块根据获得的信号数据计算所述激励电流信号的衰减时间常数，并根据所述衰减时间常数计算所述传感线圈的电感值。

公开(公告)号：CN107664920B

公开(公告)日：2019-04-12

申请号：CN201610608421.1

申请日：2016-07-29

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 陈庆生 ,  杨晓峰 ,  季汉川 ,  吴立伟

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种电磁导轨装置，包括：导轨单元，安装在基座上；滑块单元，包括电磁导轨滑块和矢量磁阻电机组，其中，所述电磁导轨滑块包络安装在所述导轨单元上，并与所述导轨单元之间存在气隙；所述矢量磁阻电机组嵌入安装在电磁导轨滑块行程方向两端且与所述气隙对应。本发明利用磁浮，由于磁浮气隙可以较气浮气隙明显提高，不再受到面型加工的限制，理论上可以无限增加使用行程，由于电磁可调，可以实现一定的加速度补偿功能，可适应高加速度应用场合。

公开(公告)号：CN109581861A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201710912242.1

申请日：2017-09-29

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 袁智行 ,  吴立伟

IPC: G05B11/42

Abstract: 本发明提供了一种运动台控制系统、运动台系统与曝光装置，其中的控制系统，包括运动台、测量系统、PID控制器，所述PID控制器包括积分模块、比例增益模块以及微分模块，所述输入误差经所述比例增益模块处理后分别输入至微分模块以及积分模块，所述PID控制器综合所述比例增益模块、微分模块以及积分模块的输出量得到控制量；其中，所述积分模块包括重置积分器和常规积分器，所述重置积分器用以针对输入的经所述比例增益模块处理后的输入误差，进行相应的积分处理后输出，所述积分模块基于重置被引入的比例与未被引入的比例，并结合所述重置积分器与所述常规积分器的输出量后输出信号。

公开(公告)号：CN108663907A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201710210545.9

申请日：2017-03-31

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 吴立伟 ,  郭琳 ,  池峰 ,  杨晓峰

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种基底台系统、光刻设备和光刻方法，基地台系统中的工件台系统包括一基底曝光工位，位于光刻机的曝光区域；一转接台，位于所述基底曝光工位的一侧；至少两个微动台，用于承载基底；一粗动台，用于带动所述微动台在所述基底曝光工位上移动；当一个微动台位于所述转接台上进行基底交接时，所述粗动台带动另一个微动台移动至所述基底曝光工位上，使得位于该微动台上的基底曝光。则本发明提供的工件台系统中仅需在基底曝光工位一侧设置用于放置转接台以及一个微动台的空间，因此相对于现有技术，本发明提供的工件台系统并未占用较大的空间，节省了占地成本。

公开(公告)号：CN107664920A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201610608421.1

申请日：2016-07-29

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 陈庆生 ,  杨晓峰 ,  季汉川 ,  吴立伟

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70733

Abstract: 本发明公开了一种电磁导轨装置，包括：导轨单元，安装在基座上；滑块单元，包括电磁导轨滑块和矢量磁阻电机组，其中，所述电磁导轨滑块包络安装在所述导轨单元上，并与所述导轨单元之间存在气隙；所述矢量磁阻电机组嵌入安装在电磁导轨滑块行程方向两端且与所述气隙对应。本发明利用磁浮，由于磁浮气隙可以较气浮气隙明显提高，不再受到面型加工的限制，理论上可以无限增加使用行程，由于电磁可调，可以实现一定的加速度补偿功能，可适应高加速度应用场合。

公开(公告)号：CN107305318B

公开(公告)日：2019-03-12

申请号：CN201610255529.7

申请日：2016-04-22

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 丛国栋 ,  郑清泉 ,  吴立伟

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种浸没式光刻系统和浸没流场维持方法，通过在浸没头中设置浸没液固化装置，在曝光过程中，浸没液固化装置将浸没头与所述硅片之间的浸没液固化形成密封墙，所述浸没头、所述密封墙和所述硅片形成盛放容器并盛放所述浸没液，在密封墙内的浸没液形成了介质，投影物镜镜头与硅片之间维持着液体的浸没液场；在曝光完成之后，浸没液固化装置将所有与硅片接触的浸没液固化，从而当硅片从工件台上移出后，浸没液不会因为重力作用下落，当工件台上上载新的未曝光的硅片后，将固化的浸没液与硅片接触，然后浸没液固化装置使固化的浸没液液化，继续下一轮曝光，因此这种装置和工艺在更换硅片后无需重新建立液场，节省了时间，提高了光刻效率。

公开(公告)号：CN104949610B

公开(公告)日：2018-08-24

申请号：CN201410109212.3

申请日：2014-03-24

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 张霖 ,  段素丙 ,  吴立伟 ,  张志钢 ,  池峰

IPC: G01B7/30

Abstract: 本发明公开一种磁浮线缆台电机磁对准系统，包括：磁浮线缆台电机，所述磁浮线缆台电机包括动子线圈组件和定子磁钢阵列组件；所述动子线圈组件的绕线柱上设置第一线性霍尔传感元件，用于测量磁场的Z向磁密值，根据所述磁密值计算磁对准角度所述磁对准角度的计算公式为：所述第一线性霍尔传感元件为两个，且沿Y向相距Sd，且满足：Sd＝(2n+0.5)τ；其中n为大于等于0的整数，τ为所述定子磁钢阵列组件的磁极距，y为所述电机所在的位置，H1、H2分别为线性霍尔传感元件测得的两个Z向磁密值。

公开(公告)号：CN105811730B

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201410857405.7

申请日：2014-12-30

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 张霖 ,  段素丙 ,  夏海 ,  吴立伟

IPC: H02K41/02 ,  H02K1/06 ,  H02K3/28

CPC classification number: H02K41/031 ,  H02K2201/18 ,  H02K2213/03

Abstract: 本发明公开了一种六自由度直线电机，包括磁铁阵列和线圈绕组，磁铁阵列包括第一海尔贝克磁铁阵列和第二海尔贝克磁铁阵列，第一海尔贝克磁铁阵列沿XY平面的截面为平行四边形，第二海尔贝克磁铁阵列与第一海尔贝克磁铁阵列结构相同，两者关于Y轴镜像对称；线圈绕组包括第一线圈绕组、第二线圈绕组、第三线圈绕组和第四线圈绕组，第一线圈绕组与第三线圈绕组关于Y轴镜像对称，第二线圈绕组与第四线圈绕组关于Y轴镜像对称。本发明通过沿XY平面的截面为平行四边形的第一海尔贝克磁铁阵列和第二海尔贝克磁铁阵列与四个线圈绕组相互作用产生多个沿Z轴的垂向力和多个沿XY平面的水平向力，通过力的分配控制，从而使直线电机实现六自由度的运动。

公开(公告)号：CN103901734B

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201210587444.0

申请日：2012-12-28

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 郭琳 ,  吴立伟 ,  陈军 ,  江旭初 ,  张志钢

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/709 ,  G03F7/70991 ,  H01L21/68764

Abstract: 本发明涉及一种工件台线缆装置，包括工件台、硅片台、线缆设备、线缆连接台以及X向运动设备和Y向运动设备，所述硅片台与线缆连接台分别安装于所述工件台的上侧和下侧，所述线缆设备的两端分别连接至所述硅片台和线缆连接台，所述X向运动设备连接至所述线缆连接台并沿X向运动，所述Y向运动设备连接至所述线缆连接台并沿Y向运动。本发明利用沿X向运动的X向运动设备和沿Y向运动的Y向运动设备带动所述线缆连接台跟随所述硅片台在X、Y向同步运动，使得线缆设备跟随所述硅片台运动，以减少线缆设备对所述硅片台运动产生的扰动，并减少线缆设备在硅片台运动中的弯折次数，增加线缆设备的使用寿命，同时，本发明结构简单。