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公开(公告)号：CN106300874B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201510268897.0
申请日：2015-05-24
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
Abstract: 本发明公开了一种多自由度长行程直线电机，包括沿Y轴方向平行分布的若干个背铁、与所述背铁粘接的若干磁铁阵列和位于所述磁铁阵列之间的线圈，所述线圈沿Z轴方向从所述磁铁阵列一侧延展，还包括位置与所述线圈对应的导磁块，所述导磁块中心线位于所述磁铁阵列沿Z轴的负方向上。本发明提供的多自由度长行程直线电机，通过设置与线圈对应的导磁块，且导磁块位于磁铁阵列中心线沿Z轴的负方向一侧，当直线电机运动时，导磁块受磁铁阵列的作用而产生沿Z轴正向的重力补偿力，以抵消负载产生的沿Z轴方向带来重力，降低线圈沿Z轴正向的推力压力，提高了多自由度直线电机的整体性能，很好地满足了光刻设备的高精度定位要求。
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公开(公告)号：CN106571731B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201510647161.4
申请日：2015-10-08
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K99/00
Abstract: 本发明公开了一种超导体磁浮平面电机，包括定子和动子，所述动子位于所述定子的表面，所述动子的尺寸小于所述定子的尺寸，所述定子为线圈阵列，所述线圈阵列由若干线圈紧密排列而成，每个所述线圈内设有铁芯；所述动子为超导体阵列，所述超导体阵列包括至少三块超导体。与现有技术相比，本发明通过在线圈内设置铁芯，不仅可以增强线圈内电流产生的磁场强度，而且减小了线圈内部的涡电流，提高了电机的推力常数和工作效率；在线圈阵列表面设置多个超导体，或在超导体表面设置线圈阵列，不仅可增大电机的出力/体积比，还能降低电机的装配难度和对温度的敏感度，从而提高了电磁稳定性和磁浮平面电机的整体性能。
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公开(公告)号：CN104753307B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201310752310.4
申请日：2013-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/03
Abstract: 本发明公开了一种磁浮平面电机，包括：磁钢阵列和设置在所述磁钢阵列上的线圈阵列，所述磁钢阵列包括方形第一磁钢和围绕第一磁钢设置的方形第二磁钢，所述第二磁钢极性与第一磁钢相反，所述第一磁钢和/或第二磁钢的四边通过设置有倒角的长方体形状的第三磁钢无缝隙连接。本发明采用若干线圈形成发力体，使得电机动子结构更为紧凑、坚固。磁钢阵列的结构改变，不仅提高了磁钢占积率，改善了电机磁密分布；而且在同等条件下，使得电机的推力常数增大至少2%。
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公开(公告)号：CN107546953A
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201610496672.5
申请日：2016-06-29
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/035
Abstract: 本发明提供一种摇摆音圈电机，通过在线圈中的重力矩补偿磁铁，可在不影响摇摆音圈电机自身运动精度的条件下使摇摆音圈电机自身具有重力矩被动补偿功能；同时，可以有效减少其他用于补偿重力矩的机械部件带来的额外尺寸空间，有效精准的补偿重力矩，达到降低作为垂向角度执行器时的摇摆音圈电机功耗，提高控制精度的目的。
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公开(公告)号：CN105024496B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201410151851.6
申请日：2014-04-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K15/00
Abstract: 本发明公开一种磁阵列装配装置，其特征在于，包括一承载底板，所述承载底板上放置磁体替代块、磁体定位装置、磁预置槽、阻尼滑块、推力转接件，导向装置和推力装置，所述磁体替代块用于定位所述磁体定位装置，所述磁体定位装置用于定位磁铁的放置位置，所述磁预置槽用于放置所述磁铁，所述阻尼滑块用于消除相邻所述磁铁间斥力，所述阻尼滑块和所述磁预置槽沿所述导向装置移动，所述推力装置用于将所述推力转接件移动至预定位置，所述推力转接件安装于所述磁体定位装置之间，若干所述磁铁被放置后形成所述磁阵列。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107453580B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201610379054.2
申请日：2016-05-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种音圈电机及其制造方法，该音圈电机包括Π型磁铁支撑结构，嵌套于Π型磁铁支撑结构内部两侧的海尔贝克磁铁阵列、设于海尔贝克磁铁阵列之间的线圈和套设于线圈外周的线圈保护层，Π型磁铁支撑结构和线圈保护层均由环氧树脂一次灌注成型。通过设置由环氧树脂灌注成型的Π型磁铁支撑结构对海尔贝克磁铁阵列进行有效支撑，不仅质量轻、机械强度高、能够承受海尔贝克磁铁阵列之间的吸力而不易形变、防水性能好、耐化学腐蚀、耐冲击，而且制造过程中，采用可重复使用的模具一次成型，安全可靠，提高了生产效率；同时通过设置由环氧树脂灌注成型的线圈保护层对线圈进行保护，提高了线圈的耐高温性能、防水性能和绝缘的功能。
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公开(公告)号：CN105006939B
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201410151690.0
申请日：2014-04-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K33/18
Abstract: 本发明公开一种音圈电机，包括定子和动子；所述定子包括上下对称设置的两个矩形背铁、连接两个矩形背铁的关节机构以及设置在所述矩形背铁上的永磁阵列；所述动子位于所述定子的上下两个矩形背铁之间，包括线圈导体以及包裹在所述线圈导体外围的线圈盖板；所述永磁阵列位于所述定子和矩形背铁之间；所述永磁阵列或矩形背铁上设有凹槽；所述凹槽位于所述永磁阵列的磁块的中心位置并朝向所述矩形背铁或位于所述矩形背铁上并朝向所述永磁阵列的磁块的中心位置。
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公开(公告)号：CN105024519B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410171838.7
申请日：2014-04-25
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种无铁芯直线电机，包括定子和动子，定子包括上背铁、下背铁、固定在上背铁内表面的上排磁铁阵列和固定在下背铁内表面的下排磁铁阵列；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列均为交替设置的S极磁铁、海尔贝克磁铁和N极磁铁；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列位置相对的磁铁的极性相同；上排磁铁阵列和下排磁铁阵列之间形成气隙；动子在气隙的长度方向作直线运动，动子包括冷却机构以及缠绕在冷却机构上的动子线圈；动子线圈所在平面与动子的直线运动方向垂直。本发明所提供的无铁芯直线电机输出功率大；电机结构紧凑，适合高速、高加速度运行；冷却速度快，效率高，节省空间；由于散热效果更好，所以可以通较大的电流，进而提高电机输出功率。
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公开(公告)号：CN104847825B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201410051753.5
申请日：2014-02-14
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种阵列式高输出磁浮重力补偿器，包括两个定子结构和一个动子结构，两个所述定子结构分别从所述动子结构的上、下两侧对所述动子结构施加磁吸力和磁斥力，实现所述动子结构的重力补偿，且使得所述定子结构对所述动子结构所施加的水平向分力均抵消。本发明提出了一种新结构，首先利用两个定子从上、下两侧对动子施加磁力，进而利用该磁力形成悬浮力，起到了补偿重力的作用；其次，通过合理设置磁钢阵列，消除或减小一般磁浮重力补偿器固有的水平向寄生拉力和水平向刚度；再次，使得动子结构垂向受力恒定，垂向力输出增加，从而减少垂向刚度；最后，本发明中的阵列式磁浮重力补偿器磁钢均为长方体，大大改善了安装难度和精度情况。
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