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公开(公告)号：CN116818142A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310784194.8
申请日：2023-06-29
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明公开了一种多点测温设备校准方法，所述方法包括将多点测温设备的各传感器触点固定置于等温块内部的测量平面上，等温块密闭后浸没入恒温槽中，用等温块稳态后的所述传感器触点位置温度推算值作为标准值校准多点测温设备，其特征在于，所述等温块沿长度方向上的各截面相同，所述测量平面与等温块长度方向垂直设置，所述等温块长度方向竖直置于恒温槽中；所述传感器触点位置温度推算值采用反距离加权插值法获得。本发明不仅能够明确和控制等温块内部温场不均匀引入的不确定度，有效提高校准测量精度，而且操作简单易行、算法简单可靠、校准效率高。
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公开(公告)号：CN118730342A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202411086142.4
申请日：2024-08-08
Applicant: 上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心) , 上海理工大学
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明公开了一种热电偶检定炉管及其使用方法，涉及热电偶校准技术领域，包括外炉管、均温块、测量端定位块、测量段调温块、控温端定位块和控温段调温块，所述均温块放置在外炉管内，所述均温块上设有控温偶孔，所述控温偶孔用于插设控温偶，所述外炉管的两端分别设置有测量端炉口和控温端炉口并分别设置有测量端定位块和控温端定位块；本发明可以在热电偶检定炉长期运行后根据其轴向温度场，灵活配置测量段调温块和控温段调温块的数量，调节外炉管与外界的传热，改善均温块内的温度场，减小热电偶校准结果的不确定度；延长检定炉使用周期，降低维修对校准工作的影响；不使用石棉，改善了检定人员工作环境。
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公开(公告)号：CN116678520A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310465201.8
申请日：2023-04-27
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明公开了一种低温干体式温度校准器，包括液氮杜瓦罐、恒温器；其中，所述恒温器包括圆柱形中空金属外壳、圆柱形等温块、连接组件、金属法兰顶盖、保温盖、加热棒和温控传感器；工作时，所述恒温器悬于液氮杜瓦罐内，其顶部的保温盖过盈套装于液氮杜瓦罐罐口上，液氮杜瓦罐内液氮液面不超过外壳顶面。该校准器使用液氮提供低温环境，采用准绝热式恒温器有效地降低装置本身的漏热，依靠等温块和温控系统精准的控温来保证稳定的恒温环境，从而不仅能够为待检测件提供精确可调的‑190℃～‑80℃低温温度场，而且调节温度场时液氮消耗少，能源效率高。
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公开(公告)号：CN220708590U
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202321796664.4
申请日：2023-07-10
IPC: G01K15/00
Abstract: 本实用新型公开了一种比较法校准精密铂电阻温度计的装置，其特征在于，包括可移出地安装在恒温槽上的等温安装台，其包括依次同轴固定安装的等温块、连接杆、支撑座；等温块上绕其中心轴环形阵列开设有一个标准铂电阻温度计插孔和多个精密铂电阻温度计插孔；对应地，支撑座上环形阵列开置有标准铂通孔、精密铂通孔；标准铂电阻温度计插孔和精密铂电阻温度计插孔深度相同，且均不小于50mm。该装置不仅能够满足目前市场上流通的绝大多数精密铂电阻温度计的校准需求，还能够同时对两支以上的温度计进行测量，大大提高了工作效率；而且具有良好的抗环境干扰性能，同时组装、置换简单，维护、使用成本低。
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公开(公告)号：CN222188602U
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202421050597.6
申请日：2024-05-14
IPC: G01K15/00
Abstract: 本实用新型涉及一种晶圆测温系统的温度测量装置，用于测量晶圆测温系统的温度误差，包括：恒温槽，用于提供恒定温场；等温块，包括第一装载空间和第二装载空间，第一装载空间用于装载晶圆测温系统，第二装载空间用于装载标准铂电阻温度计，至少部分等温块自开口端至封闭端从条形槽口插入至空腔内，在恒温槽提供的恒定温场下可以分别读取晶圆测温系统与标准铂电阻温度计测得的温度数据并对比，从而得出晶圆测温系统的温度误差值，结构简单、操作方便且测得的晶圆测温系统的误差值准确；并且通过设置有等温块，可以在测得晶圆测温系统温度误差的同时还可以防止晶圆测温系统直接与流体介质接触，从而保证晶圆测温系统的洁净度。
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