一种无线接触式表面温度测量装置

    公开(公告)号:CN222069929U

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202421393463.4

    申请日:2024-06-18

    Abstract: 本实用新型提供一种无线接触式表面温度测量装置,涉及温度测量技术领域。该装置包括:传感器探头、无线传输模块、探头固定及接触面力微调模块、测试分析处理器,传感器探头用于感测被测表面的温度,探头固定及接触面力微调模块用于将传感器探头固定在被测表面处,无线传输模块用于获取来自传感器探头的温度信号并将信号无线传送至测试分析处理器,传感器探头包括探头壳体、内部电路和电源模块、支撑柱以及感温元件。本装置可以实现封闭环境中的表面温度检测,通过固定模块固定探头和表面接触,再结合力微调设备,可以很好地控制接触程度,不受人为因素影响。所采用的固定模块使得表面温度检测不仅可以用于水平面,也可以用于垂直表面。

    一种晶圆测温系统的温度测量装置

    公开(公告)号:CN222188602U

    公开(公告)日:2024-12-17

    申请号:CN202421050597.6

    申请日:2024-05-14

    Abstract: 本实用新型涉及一种晶圆测温系统的温度测量装置,用于测量晶圆测温系统的温度误差,包括:恒温槽,用于提供恒定温场;等温块,包括第一装载空间和第二装载空间,第一装载空间用于装载晶圆测温系统,第二装载空间用于装载标准铂电阻温度计,至少部分等温块自开口端至封闭端从条形槽口插入至空腔内,在恒温槽提供的恒定温场下可以分别读取晶圆测温系统与标准铂电阻温度计测得的温度数据并对比,从而得出晶圆测温系统的温度误差值,结构简单、操作方便且测得的晶圆测温系统的误差值准确;并且通过设置有等温块,可以在测得晶圆测温系统温度误差的同时还可以防止晶圆测温系统直接与流体介质接触,从而保证晶圆测温系统的洁净度。

    一种低温表面温度传感器校准装置

    公开(公告)号:CN220437618U

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202321778949.5

    申请日:2023-07-07

    Inventor: 姚丽芳 姜盈盈

    Abstract: 本实用新型属于表面传感器校准领域,公开了一种低温表面温度传感器校准装置,包括低温恒温槽、测试平台、直角精密铂电阻温度计、棒式精密铂电阻温度计;测试平台可移出地嵌入低温恒温槽,形成低温温场;测试平台包括等温槽,等温槽具有一个水平第一测温平面和一个竖直第二测温平面;直角精密铂电阻温度计可拆卸地安装在第一测温平面底部,在安装位置,其感温头与第一测温平面中心贴近;棒式精密铂电阻温度计可拆卸地安装在第二测温平面侧面,在安装位置,其感温头与第一测温平面和第二测温平面的交线中心贴近。该校准装置能够满足市面上各类表面温度传感器的校准需求,校准量程低至‑30℃,而且操作简便、测量准确度高。

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