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公开(公告)号：CN116678520A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310465201.8
申请日：2023-04-27
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明公开了一种低温干体式温度校准器，包括液氮杜瓦罐、恒温器；其中，所述恒温器包括圆柱形中空金属外壳、圆柱形等温块、连接组件、金属法兰顶盖、保温盖、加热棒和温控传感器；工作时，所述恒温器悬于液氮杜瓦罐内，其顶部的保温盖过盈套装于液氮杜瓦罐罐口上，液氮杜瓦罐内液氮液面不超过外壳顶面。该校准器使用液氮提供低温环境，采用准绝热式恒温器有效地降低装置本身的漏热，依靠等温块和温控系统精准的控温来保证稳定的恒温环境，从而不仅能够为待检测件提供精确可调的‑190℃～‑80℃低温温度场，而且调节温度场时液氮消耗少，能源效率高。
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公开(公告)号：CN116818142A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310784194.8
申请日：2023-06-29
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明公开了一种多点测温设备校准方法，所述方法包括将多点测温设备的各传感器触点固定置于等温块内部的测量平面上，等温块密闭后浸没入恒温槽中，用等温块稳态后的所述传感器触点位置温度推算值作为标准值校准多点测温设备，其特征在于，所述等温块沿长度方向上的各截面相同，所述测量平面与等温块长度方向垂直设置，所述等温块长度方向竖直置于恒温槽中；所述传感器触点位置温度推算值采用反距离加权插值法获得。本发明不仅能够明确和控制等温块内部温场不均匀引入的不确定度，有效提高校准测量精度，而且操作简单易行、算法简单可靠、校准效率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116839761A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310800046.0
申请日：2023-06-30
IPC: G01K15/00 , F24H9/1818
Abstract: 本发明公开了一种恒温恒速水槽及其有效工作区域校准方法，涉及温度传感器动态响应校准技术领域，包括台架、调速电机、平面轴承、环形筒体、温度控制器与精密滑环；所述环形筒体位于平面轴承上垫圈上，并通过法兰联轴器与调速电机固定连接；所述精密滑环连接旋转筒体底板上的电加热器和温度控制器，实现了旋转筒体内介质的电加热，既保证了恒温恒速水槽流场的稳定和均匀，又实现了水槽的快速升温；通过在环形筒体内圈外壁面设置反光条，测量环形筒体的旋转速度，将水槽某位置处的流速溯源至环形筒体转速与该位置处半径的乘积，有效降低了测量结果的不确定度；本发明为使用恒温恒速水槽开展温度传感器动态响应校准，提供了计量保障。
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公开(公告)号：CN222188602U
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202421050597.6
申请日：2024-05-14
IPC: G01K15/00
Abstract: 本实用新型涉及一种晶圆测温系统的温度测量装置，用于测量晶圆测温系统的温度误差，包括：恒温槽，用于提供恒定温场；等温块，包括第一装载空间和第二装载空间，第一装载空间用于装载晶圆测温系统，第二装载空间用于装载标准铂电阻温度计，至少部分等温块自开口端至封闭端从条形槽口插入至空腔内，在恒温槽提供的恒定温场下可以分别读取晶圆测温系统与标准铂电阻温度计测得的温度数据并对比，从而得出晶圆测温系统的温度误差值，结构简单、操作方便且测得的晶圆测温系统的误差值准确；并且通过设置有等温块，可以在测得晶圆测温系统温度误差的同时还可以防止晶圆测温系统直接与流体介质接触，从而保证晶圆测温系统的洁净度。
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公开(公告)号：CN220437618U
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202321778949.5
申请日：2023-07-07
Abstract: 本实用新型属于表面传感器校准领域，公开了一种低温表面温度传感器校准装置，包括低温恒温槽、测试平台、直角精密铂电阻温度计、棒式精密铂电阻温度计；测试平台可移出地嵌入低温恒温槽，形成低温温场；测试平台包括等温槽，等温槽具有一个水平第一测温平面和一个竖直第二测温平面；直角精密铂电阻温度计可拆卸地安装在第一测温平面底部，在安装位置，其感温头与第一测温平面中心贴近；棒式精密铂电阻温度计可拆卸地安装在第二测温平面侧面，在安装位置，其感温头与第一测温平面和第二测温平面的交线中心贴近。该校准装置能够满足市面上各类表面温度传感器的校准需求，校准量程低至‑30℃，而且操作简便、测量准确度高。
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公开(公告)号：CN220708590U
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202321796664.4
申请日：2023-07-10
IPC: G01K15/00
Abstract: 本实用新型公开了一种比较法校准精密铂电阻温度计的装置，其特征在于，包括可移出地安装在恒温槽上的等温安装台，其包括依次同轴固定安装的等温块、连接杆、支撑座；等温块上绕其中心轴环形阵列开设有一个标准铂电阻温度计插孔和多个精密铂电阻温度计插孔；对应地，支撑座上环形阵列开置有标准铂通孔、精密铂通孔；标准铂电阻温度计插孔和精密铂电阻温度计插孔深度相同，且均不小于50mm。该装置不仅能够满足目前市场上流通的绝大多数精密铂电阻温度计的校准需求，还能够同时对两支以上的温度计进行测量，大大提高了工作效率；而且具有良好的抗环境干扰性能，同时组装、置换简单，维护、使用成本低。
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公开(公告)号：CN220018781U
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202321709407.2
申请日：2023-06-30
IPC: G01K15/00 , F24H9/1818
Abstract: 本实用新型公开了一种快速升温的恒温恒速水槽，涉及温度传感器动态响应校准技术领域，包括台架、调速电机、平面轴承、环形筒体、温度控制器与精密滑环；所述环形筒体位于平面轴承上垫圈上，并通过法兰联轴器与调速电机固定连接；所述精密滑环连接旋转筒体底板上的电加热器和温度控制器，实现了旋转筒体内介质的电加热，既保证了恒温恒速水槽流场的稳定和均匀，又实现了水槽的快速升温；通过在环形筒体内圈外壁面设置反光条，测量环形筒体的旋转速度，将水槽某位置处的流速溯源至环形筒体转速与该位置处半径的乘积，有效降低了测量结果的不确定度；本实用新型为使用恒温恒速水槽开展温度传感器动态响应校准，提供了计量保障。
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