含抛光活性元素的多孔纳米复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法

    公开(公告)号:CN102408871A

    公开(公告)日:2012-04-11

    申请号:CN201110298605.X

    申请日:2011-09-28

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种含抛光活性元素的多孔纳米复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法。该复合磨粒为:a.由氧化硅与含有抛光活性元素的氧化物形成的复合氧化硅磨粒;b.由氧化铝与与含有抛光活性元素的氧化物形成的复合氧化铝磨粒。该复合磨粒为纳米级孔道结构,可降低磨料硬度,减小无机致密磨粒对基片的过度碰撞,以降低抛光损伤;该磨粒的化学组成上含有铁或铜、铈、镍、钛、银等抛光活性元素,可提高磨粒的化学作用,同时磨粒的多孔结构可吸附储存抛光液成分,提高磨粒的化学活性。化学作用的提高可提高磨粒的抛光速度,这样设计的磨粒可同时达到“高速率、高精度”抛光的目的。采用本发明提供的抛光液对电子器件如硬盘基片进行抛光,可以有效降低存储器硬盘基片表面的粗糙度,并具有高的抛光速度。

    一种用于计算机硬盘基片抛光的多孔纳米氧化铝抛光液

    公开(公告)号:CN102220087A

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN201110114788.5

    申请日:2011-05-05

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种用于计算机硬盘基片的抛光液,特别是一种可用于Ni-P镀敷的计算机硬盘基片抛光,属于计算机存储器硬盘制造及表面抛光技术领域。本发明的抛光液含有多孔纳米氧化铝磨料、氧化剂、分散剂、表面活性剂和水,其特点在于该抛光液含有多孔纳米氧化铝磨料。本发明的多孔纳米氧化铝抛光液组成及其重量百分比如下:多孔纳米氧化铝磨料1~10%;氧化剂1~6%;分散剂0.2~1.0%;表面活性剂0.1~1%;余重为水。采用本发明提供的抛光液对硬盘基片进行抛光,可降低基片表面的粗糙度。多孔纳米氧化铝的粒径为50~500nm,孔径为1~20nm;氧化剂为双氧水,分散剂为六偏磷酸钠,表面活性剂为十二烷基聚氧乙烯醚,水采用去离子水。

    含抛光活性元素的多孔纳米复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法

    公开(公告)号:CN102408871B

    公开(公告)日:2013-11-20

    申请号:CN201110298605.X

    申请日:2011-09-28

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种含抛光活性元素的多孔纳米复合磨粒、抛光液组合物及其制备方法。该复合磨粒为:a.由氧化硅与含有抛光活性元素的氧化物形成的复合氧化硅磨粒;b.由氧化铝与与含有抛光活性元素的氧化物形成的复合氧化铝磨粒。该复合磨粒为纳米级孔道结构,可降低磨料硬度,减小无机致密磨粒对基片的过度碰撞,以降低抛光损伤;该磨粒的化学组成上含有铁或铜、铈、镍、钛、银等抛光活性元素,可提高磨粒的化学作用,同时磨粒的多孔结构可吸附储存抛光液成分,提高磨粒的化学活性。化学作用的提高可提高磨粒的抛光速度,这样设计的磨粒可同时达到“高速率、高精度”抛光的目的。采用本发明提供的抛光液对电子器件如硬盘基片进行抛光,可以有效降低存储器硬盘基片表面的粗糙度,并具有高的抛光速度。

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