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公开(公告)号：CN100574905C
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200410046441.1
申请日：2004-05-31
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: B08B7/00 , C03C23/00 , H01J61/00 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明的目的在于防止或抑制决定光学设备寿命的光学系统的衰减，其中所述光学设备实现例如光线透射、衍射、反射、光谱产生、以及干涉和其组合的效果。采用上述方式，可以降低维修操作频率如窗口更换并降低此操作的成本。本发明的特征在于通过以下步骤实现：具有0.005毫托到20毫托范围的近真空区用于激发碳的氧化反应，所述近真空区面对所述光学系统的所述照明表面；在所述近真空区产生含氧原子离子或基，例如含有氧原子的不稳定的基团如OH基、OH-离子、臭氧、O2-离子、O-基；通过使含氧原子离子或基团与沉积的碳进行反应以消除或减少积聚在所述照明表面的积聚的碳。
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公开(公告)号：CN1623088A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN03801491.2
申请日：2003-06-27
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: H01J49/427 , H01J49/162 , H01J49/424
Abstract: 本发明的化学物质的检测装置(100)具备真空紫外光灯(3)，通过该真空紫外光灯(3)，将废气Gs中的检测对象化学物质离子化。被离子化的检测对象化学物质被封闭在内部形成高频电场的离子捕获装置(10)内。通过SWIFT波形(其包含将与该检测对象化学物质离子的轨道共振频率对应的频率排除的频率成分)提供给离子捕获装置(10)内的离子群能量并除去杂质。然后，通过TICKLE波形(具有对应于检测对象化学物质离子的轨道共振频率的频率成分)给上述离子群提供能量，并将检测对象化学物质的离子碎片化。然后，可通过质量分析计(4)测定该碎片的质量，以鉴定检测对象化学物质。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101656187B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200910170895.2
申请日：2004-05-31
Applicant: 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明的目的在于防止或抑制决定光学设备寿命的光学系统的衰减，其中所述光学设备实现例如光线透射、衍射、反射、光谱产生、以及干涉和其组合的效果。采用上述方式，可以降低维修操作频率如窗口更换并降低此操作的成本。本发明的特征在于通过以下步骤实现：产生具有活性能量存在的近真空区，以激发碳的氧化反应，其中所述近真空区面对所述光学系统的所述光线表面；在所述近真空区产生负离子或基团，例如含有氧原子的不稳定的基团如OH基、OH-离子、臭氧、O2-离子、O-基；并通过沉积的碳与负离子或基团进行反应，消除或减少积聚在所述照明表面上的积聚的碳。
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公开(公告)号：CN1704180A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN200410046441.1
申请日：2004-05-31
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: B08B7/00 , C03C23/00 , H01J61/00 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明的目的在于防止或抑制决定光学设备寿命的光学系统的衰减，其中所述光学设备实现例如光线透射、衍射、反射、光谱产生、以及干涉和其组合的效果。采用上述方式，可以降低维修操作频率如窗口更换并降低此操作的成本。本发明的特征在于通过以下步骤实现：产生具有活性能量存在的近真空区，以激发碳的氧化反应，其中所述近真空区面对所述光学系统的所述光线表面；在所述近真空区产生负离子或基团，例如含有氧原子的不稳定的基团如OH基、OH－离子、臭氧、O2－离子、O－基；并通过沉积的碳与负离子或基团进行反应，消除或减少积聚在所述照明表面上的积聚的碳。
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公开(公告)号：CN101656187A
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200910170895.2
申请日：2004-05-31
Applicant: 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明的目的在于防止或抑制决定光学设备寿命的光学系统的衰减，其中所述光学设备实现例如光线透射、衍射、反射、光谱产生、以及干涉和其组合的效果。采用上述方式，可以降低维修操作频率如窗口更换并降低此操作的成本。本发明的特征在于通过以下步骤实现：产生具有活性能量存在的近真空区，以激发碳的氧化反应，其中所述近真空区面对所述光学系统的所述光线表面；在所述近真空区产生负离子或基团，例如含有氧原子的不稳定的基团如OH基、OH - 离子、臭氧、O 2 - 离子、O - 基；并通过沉积的碳与负离子或基团进行反应，消除或减少积聚在所述照明表面上的积聚的碳。
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公开(公告)号：CN100458435C
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN03801491.2
申请日：2003-06-27
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: H01J49/427 , H01J49/162 , H01J49/424
Abstract: 本发明的化学物质的检测装置(100)具备真空紫外光灯(3)，通过该真空紫外光灯(3)，将废气Gs中的检测对象化学物质离子化。被离子化的检测对象化学物质被封闭在内部形成高频电场的离子捕获装置(10)内。通过SWIFT波形(其包含将与该检测对象化学物质离子的轨道共振频率对应的频率排除的频率成分)提供给离子捕获装置(10)内的离子群能量并除去杂质。然后，通过TICKLE波形(具有对应于检测对象化学物质离子的轨道共振频率的频率成分)给上述离子群提供能量，并将检测对象化学物质的离子碎片化。然后，可通过质量分析计(4)测定该碎片的质量，以鉴定检测对象化学物质。
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公开(公告)号：CN1294300A
公开(公告)日：2001-05-09
申请号：CN00133376.3
申请日：2000-10-26
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: H01J49/162
Abstract: 本发明的二氧芑类物质分析仪,向含有二氧芑类物质的气体或溶液中施加宽谱激光,从而对二氧芑类物质进行激光多光子电离,继而测量经过电离的二氧芑类物质。可以实时分析气体(比如废气)或液体(比如废水)内含有的二氧芑类物质。
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