公开(公告)号：CN104425090A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410432236.2

申请日：2014-08-28

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 藤田利晃 ,  田中寛 ,  长友宪昭

IPC: H01C7/02

CPC classification number: G01K7/226 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/5826 ,  H01C1/1406 ,  H01C7/006 ,  H01C7/008 ,  H01C17/06513 ,  H01C17/12

Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜在薄膜等上，且具有高耐热性且可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(M1-wAw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，M表示选自Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，并且A表示选自Mn、Cu、Ni、Fe及Co中的至少一种且与所选的所述M不同的元素，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-A-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。