公开(公告)号：CN103339718B

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201280006685.X

申请日：2012-01-16

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 八田健志 ,  增田昭裕

IPC: H01L21/60 ,  C25D5/10 ,  C25D5/50 ,  C25D7/00 ,  C25D7/12

CPC classification number: H01L24/11 ,  C22C13/00 ,  C25D5/022 ,  C25D5/10 ,  C25D5/505 ,  C25D7/123 ,  H01L21/4853 ,  H01L23/49816 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/03462 ,  H01L2224/0347 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05023 ,  H01L2224/05147 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05655 ,  H01L2224/11462 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/11502 ,  H01L2224/11849 ,  H01L2224/11901 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13082 ,  H01L2224/13083 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01047 ,  H05K3/3473 ,  H05K3/4007 ,  H05K2203/043 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13599 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05099 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2224/29599 ,  H01L2224/05552

Abstract: 本发明提供一种容易控制Sn合金隆起物的组成的Sn合金隆起物的制造方法。本发明的Sn合金隆起物的制造方法为由Sn与其他一种或两种以上的金属的合金形成的Sn合金隆起物的制造方法，其具有如下工序：通过电解电镀，在形成于基板（1）上的保护层开口部（2a）内的电极焊盘（3）上形成Sn层（4a）；通过电解电镀，在Sn层（4a）上层叠Sn与其他金属的合金层（4b）；及去除保护层（2）后，熔融Sn层（4a）与层叠的合金层（4b）来形成Sn合金隆起物（5）。

公开(公告)号：CN103339718A

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201280006685.X

申请日：2012-01-16

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 八田健志 ,  增田昭裕

IPC: H01L21/60 ,  C25D5/10 ,  C25D5/50 ,  C25D7/00 ,  C25D7/12

CPC classification number: H01L24/11 ,  C22C13/00 ,  C25D5/022 ,  C25D5/10 ,  C25D5/505 ,  C25D7/123 ,  H01L21/4853 ,  H01L23/49816 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/03462 ,  H01L2224/0347 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05023 ,  H01L2224/05147 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05655 ,  H01L2224/11462 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/11502 ,  H01L2224/11849 ,  H01L2224/11901 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13082 ,  H01L2224/13083 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01047 ,  H05K3/3473 ,  H05K3/4007 ,  H05K2203/043 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13599 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05099 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2224/29599 ,  H01L2224/05552

Abstract: 本发明提供一种容易控制Sn合金隆起物的组成的Sn合金隆起物的制造方法。本发明的Sn合金隆起物的制造方法为由Sn与其他一种或两种以上的金属的合金形成的Sn合金隆起物的制造方法，其具有如下工序：通过电解电镀，在形成于基板（1）上的保护层开口部（2a）内的电极焊盘（3）上形成Sn层（4a）；通过电解电镀，在Sn层（4a）上层叠Sn与合金层（4b）；及去除保护层（2）后，熔融Sn层（4a）与层叠的合金层（4b）来形成Sn合金隆起物（5）。

公开(公告)号：CN104093889B

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201380008134.1

申请日：2013-02-12

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 八田健志 ,  增田昭裕

IPC: C25D17/00 ,  C25D21/14

CPC classification number: C25D17/02 ,  C25D3/56 ,  C25D3/60 ,  C25D17/002 ,  C25D21/14 ,  C25D21/18

Abstract: 本发明提供一种Sn合金电解电镀方法，将Sn‑Ag系合金等Sn合金进行电解电镀时，解决了金属向阳极析出的问题，从而可使用可溶性阳极。通过阴离子交换膜(2)将电镀槽(1)内划分为阴极室(4)与阳极室(3)，向阴极室(4)供给含有Sn离子的电镀液，向阳极室(3)供给酸溶液，之后在阴极室(4)内的被电镀物(12)与阳极室(3)内的Sn制阳极(11)之间通电进行电解电镀，并且随着电镀的进行，将含有从Sn制阳极(11)溶出的Sn离子的酸溶液，作为阴极室(4)的电镀液的Sn离子补给液而使用。

公开(公告)号：CN104093889A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201380008134.1

申请日：2013-02-12

Applicant: 三菱综合材料株式会社

Inventor： 八田健志 ,  增田昭裕

IPC: C25D17/00 ,  C25D21/14

CPC classification number: C25D17/02 ,  C25D3/56 ,  C25D3/60 ,  C25D17/002 ,  C25D21/14 ,  C25D21/18

Abstract: 本发明提供一种Sn合金电解电镀方法，将Sn-Ag系合金等Sn合金进行电解电镀时，解决了金属向阳极析出的问题，从而可使用可溶性阳极。通过阴离子交换膜(2)将电镀槽(1)内划分为阴极室(4)与阳极室(3)，向阴极室(4)供给含有Sn离子的电镀液，向阳极室(3)供给酸溶液，之后在阴极室(4)内的被电镀物(12)与阳极室(3)内的Sn制阳极(11)之间通电进行电解电镀，并且随着电镀的进行，将含有从Sn制阳极(11)溶出的Sn离子的酸溶液，作为阴极室(4)的电镀液的Sn离子补给液而使用。