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公开(公告)号：CN1312493C
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200410087989.0
申请日：2004-10-26
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L27/14685 , G02B3/0012 , G02B3/0056 , H01L27/14627
Abstract: 本发明提供一种能够形成耐热的微型透镜的微型透镜的制造方法、具有该耐热的微型透镜的固体摄像元件及固体摄像元件的制造方法。该微型透镜的制造方法包括：在基板上形成具有透光性的无机膜的工序、在与透镜形成位置对应的上述无机膜上的位置形成抗蚀剂膜的工序、蚀刻上述无机膜上的未形成上述抗蚀剂膜的部分的工序、去除残存的上述抗蚀剂膜的工序、对通过去除上述抗蚀剂膜的上述蚀刻而形成图形的无机膜照射惰性气体离子的工序(F)。
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公开(公告)号：CN1717807A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200480001497.3
申请日：2004-04-16
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: H01L27/14 , H01L27/148 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/14643 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/1463 , H01L27/14685 , H01L27/14687 , H01L27/148
Abstract: 一种固体摄像元件及其制造方法，在所述固体摄像元件中，电力供给线(8)覆盖分离区域(4)的上方。形成具有透光性且其表面在分离区域(4)上向着通道区域(5)成为连续凸部的上层透镜膜(24)。而且，通过使上层透镜膜(24)上方为比上层透镜膜(24)折射率更低的透光性物质，使上层透镜膜(24)在电力供给线(8)上具有棱镜的功能，能够将入射到电力供给线(8)的光导向作为受光元件区域的通道区域(5)。根据本发明，提高固体摄像元件的受光感度。
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公开(公告)号：CN100392862C
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200480001497.3
申请日：2004-04-16
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: H01L27/14 , H01L27/148 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/14643 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/1463 , H01L27/14685 , H01L27/14687 , H01L27/148
Abstract: 一种固体摄像元件及其制造方法，在所述固体摄像元件中，电力供给线(8)覆盖分离区域(4)的上方。形成具有透光性且其表面在分离区域(4)上向着通道区域(5)成为连续凸部的上层透镜膜(24)。而且，通过使上层透镜膜(24)上方为比上层透镜膜(24)折射率更低的透光性物质，使上层透镜膜(24)在电力供给线(8)上具有棱镜的功能，能够将入射到电力供给线(8)的光导向作为受光元件区域的通道区域(5)。根据本发明，提高固体摄像元件的受光感度。
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公开(公告)号：CN1616990A
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN200410087989.0
申请日：2004-10-26
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L27/14685 , G02B3/0012 , G02B3/0056 , H01L27/14627
Abstract: 本发明提供一种能够形成耐热的微型透镜的微型透镜的制造方法、具有该耐热的微型透镜的固体摄像元件及固体摄像元件的制造方法。该微型透镜的制造方法包括：在基板上形成具有透光性的无机膜的工序、在与透镜形成位置对应的上述无机膜上的位置形成抗蚀剂膜的工序、蚀刻上述无机膜上的未形成上述抗蚀剂膜的部分的工序、去除残存的上述抗蚀剂膜的工序、对通过去除上述抗蚀剂膜的上述蚀刻而形成图形的无机膜照射惰性气体离子的工序(F)。
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