氮化物类半导体激光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101714743A

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200910178590.6

    申请日:2009-09-29

    Abstract: 本发明提供一种氮化物类半导体激光元件及其制造方法。该氮化物类半导体激光元件,具备:氮化物类半导体层,其形成于由氮化物类半导体构成的活性层上;和俯视时具有元件所需要的形状的电极层,该电极层包括:形成于氮化物类半导体层的与活性层相反侧的表面上且由Pt构成的第一金属层、形成于第一金属层的表面上且由Pd构成的第二金属层、和形成于第二金属层的表面上且由Pt构成的第三金属层。而且,第三金属层的厚度为第一金属层的厚度的10倍以上30倍以下。

    氮化物类半导体元件
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1893110A

    公开(公告)日:2007-01-10

    申请号:CN200610095956.X

    申请日:2006-06-29

    Abstract: 本发明提供一种氮化物类半导体元件,其具备具有主表面的氮化物类半导体层、和在上述氮化物类半导体层的主表面上形成的欧姆电极,上述欧姆电极包含与上述氮化物类半导体层的主表面接触形成的硅层、和在上述硅层上形成的第一金属层。

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