公开(公告)号：CN105093834B

公开(公告)日：2020-03-13

申请号：CN201510136947.X

申请日：2015-03-26

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 南沇希 ,  金美英 ,  朴惟廷 ,  金润俊 ,  金惠廷 ,  文俊怜 ,  宋炫知 ,  李忠宪 ,  崔有廷

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供一种硬掩模组成物和使用所述硬掩模组成物形成图案的方法。所述硬掩模组成物包含聚合物和溶剂，所述聚合物包含由以下化学式1表示的部分。[化学式1]＊‑A‑B‑＊在所述化学式1中，A和B与具体实施方式中所定义的相同。本发明提供的硬掩模组成物能确保溶剂的可溶性、间隙填充特性和平坦化特性并满足耐热性和耐蚀刻性。

公开(公告)号：CN105093834A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510136947.X

申请日：2015-03-26

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 南沇希 ,  金美英 ,  朴惟廷 ,  金润俊 ,  金惠廷 ,  文俊怜 ,  宋炫知 ,  李忠宪 ,  崔有廷

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供一种硬掩模组成物和使用所述硬掩模组成物形成图案的方法。所述硬掩膜组成物包含聚合物和溶剂，所述聚合物包含由以下化学式1表示的部分。[化学式1]*—A—B—*在所述化学式1中，A和B与具体实施方式中所定义的相同。本发明提供的硬掩模组成物能确保溶剂的可溶性、间隙填充特性和平坦化特性并满足耐热性和耐蚀刻性。