布线层中具有热成型气隙的半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101241899A

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN200810008838.X

    申请日:2008-01-25

    Inventor: 元皙俊 金泰范

    Abstract: 本申请涉及布线层中具有热成型气隙的半导体器件及其制造方法。本发明提供了一种半导体器件。该半导体器件的单元布线级包括:在支承层上互相分开的第一和第二布线层;大间隔,与该第一布线层相邻形成,并且包括第一气隙和形成在该支承层上的热可降解材料层的一部分,该第一气隙具有从该第一布线层的侧壁测量的预定宽度;小间隔,形成在该第一与第二布线层之间,其中该小间隔小于该大间隔,而且第二气隙至少部分地填充该小间隔;以及多孔绝缘层,形成在该第一和第二气隙上。

    布线层中具有热成型气隙的半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101241899B

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN200810008838.X

    申请日:2008-01-25

    Inventor: 元皙俊 金泰范

    Abstract: 本申请涉及布线层中具有热成型气隙的半导体器件及其制造方法。本发明提供了一种半导体器件。该半导体器件的单元布线级包括:在支承层上互相分开的第一和第二布线层;大间隔,与该第一布线层相邻形成,并且包括第一气隙和形成在该支承层上的热可降解材料层的一部分,该第一气隙具有从该第一布线层的侧壁测量的预定宽度;小间隔,形成在该第一与第二布线层之间,其中该小间隔小于该大间隔,而且第二气隙至少部分地填充该小间隔;以及多孔绝缘层,形成在该第一和第二气隙上。

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