淀积金属化合物层的方法和用于淀积金属化合物层的设备

    公开(公告)号:CN1789487A

    公开(公告)日:2006-06-21

    申请号:CN200510136987.0

    申请日:2005-12-13

    Abstract: 在一种用于淀积金属化合物层的方法和设备中,在衬底上可以提供第一源气体和第二源气体,以在衬底上淀积第一金属化合物层。第一源气体可以包括金属和卤族元素,以及第二源气体可以包括能与金属反应的第一材料和能与卤族元素反应的第二材料。第一和第二源气体可以以第一流速比提供。通过用不同于第一流速比的第二流速比提供第一和第二源气体,可以在第一金属化合物层上连续地淀积第二金属化合物层。该设备可以包括设为容纳衬底的处理室、供气系统和流速控制装置。

    半导体发光器件
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105390580B

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201510549322.6

    申请日:2015-08-31

    Abstract: 本发明提供了一种半导体发光器件,其包括层叠式半导体结构,该层叠式半导体结构具有彼此相对的第一表面和第二表面、分别形成第一表面和第二表面的第一导电类型的半导体层和第二导电类型的半导体层、以及有源层。第一电极和第二电极分别设置在层叠式半导体结构的第一表面和第二表面上。连接电极延伸至第一表面以连接至第二电极。支承衬底设置在第二电极上,并且绝缘层使连接电极与有源层和第一导电类型的半导体层绝缘。

    半导体发光器件
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105390580A

    公开(公告)日:2016-03-09

    申请号:CN201510549322.6

    申请日:2015-08-31

    Abstract: 本发明提供了一种半导体发光器件,其包括层叠式半导体结构,该层叠式半导体结构具有彼此相对的第一表面和第二表面、分别形成第一表面和第二表面的第一导电类型的半导体层和第二导电类型的半导体层、以及有源层。第一电极和第二电极分别设置在层叠式半导体结构的第一表面和第二表面上。连接电极延伸至第一表面以连接至第二电极。支承衬底设置在第二电极上,并且绝缘层使连接电极与有源层和第一导电类型的半导体层绝缘。

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