使用防翘曲绝缘材料的层叠芯片封装及其制造方法

    公开(公告)号:CN101026102A

    公开(公告)日:2007-08-29

    申请号:CN200710004098.8

    申请日:2007-01-23

    CPC classification number: H01L2224/16145

    Abstract: 在层叠芯片结构及其制造方法中,使用相对简单的工艺完全填充下芯片和上芯片之间的间隙,消除下和上芯片之间的空隙,并消除与空隙相关的断裂和剥离问题。本发明可被应用于芯片级和晶片级键合方法。在层叠芯片或层叠晶片之前,光敏聚合物层被施加到第一芯片或晶片。该光敏聚合物层被部分地固化,以便使该光敏聚合物层的结构稳定,同时保持其粘附性能。第二芯片或晶片被层叠、对准和键合到第一芯片或晶片,然后该光敏聚合物层被固化,以完全键合第一和第二芯片或晶片。以此方式,芯片/晶片之间的粘附力被大大地提高,同时提供间隙的完全填充。此外,机械可靠性被提高和CTE不匹配被减小,减轻与翘曲、断裂和剥离相关的问题,从而提高器件成品率和器件可靠性。

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