公开(公告)号：CN109727894A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201811267135.9

申请日：2018-10-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金炳相 ,  孙沂周 ,  李柱铉 ,  金东昱 ,  朴景彬 ,  沈佑燮 ,  金正旭 ,  刘灏 ,  崔命受 ,  黄恩秀

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开提供了基板处理装置。一种基板处理装置包括：排气单元、喷洒头以及调节器。排气单元包括其中形成出口的下表面以及从上述下表面延伸的四个侧壁。排气单元包括从两个相对侧壁突出的排气翼。喷洒头位于排气单元中并具有分布孔。调节器被设置在排气翼之间的排气单元的每个侧壁上。

公开(公告)号：CN109388019A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201810794958.0

申请日：2018-07-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金东昱 ,  李柱铉 ,  金炳相 ,  朴景彬 ,  孙沂周 ,  刘灏

IPC: G03F7/00

Abstract: 本公开提供了一种膜框架、用于制造显示基板的系统以及制造显示基板的方法，该膜框架包括：一对框架边缘，在第一方向上纵向地延伸并彼此相对地布置；固定端夹具，连接到所述一对框架边缘并在垂直于第一方向的第二方向上纵向地延伸；以及在所述一对框架边缘之间的自由端夹具，该自由端夹具在第二方向上纵向地延伸并配置为与所述一对框架边缘可拆卸地联接，其中固定端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第一磁性固定器以及在第一磁性固定器上的第二磁性固定器，自由端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第三磁性固定器和在第三磁性固定器上的第四磁性固定器。

公开(公告)号：CN109752922A

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：CN201811188682.8

申请日：2018-10-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘灏 ,  金东昱 ,  金炳相 ,  朴景彬 ,  孙沂周 ,  李柱铉

IPC: G03F7/00

Abstract: 一种紫外固化装置，包括：壳体；多个紫外发光二极管，所述多个紫外发光二极管沿所述壳体的长度方向布置；以及至少一个遮光器部分，所述至少一个遮光器部分在所述长度方向上是可移动的并联接到所述壳体，以覆盖所述多个紫外发光二极管的至少一部分，进而限制由所述多个紫外发光二极管发射的紫外光的照射区域。

公开(公告)号：CN109597277A

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201810940325.6

申请日：2018-08-17

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘灏 ,  金炳相 ,  金正旭 ,  朴景彬 ,  孙沂周 ,  黄恩秀

IPC: G03F7/00

Abstract: 一种压印设备包括：第一框架；压力辊，其可旋转地支撑在所述第一框架的第一端部；第二框架，其包括耦接到所述第一框架的第二端部的支撑部分、以及耦接到所述支撑部分以横向地可移动的至少一个引导部分；以及至少一个负载辊，其由所述至少一个引导部分支撑，所述至少一个负载辊在可旋转的同时在垂直方向上可移动，并且根据所述至少一个引导部分的横向移动而在压力辊的上部接触压力辊的表面，所述至少一个负载辊通过由所述至少一个负载辊的负载施加的力挤压所述压力辊。

公开(公告)号：CN117631470A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311103501.8

申请日：2023-08-30

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金东炯 ,  郑殷喜 ,  泰恩·博伦 ,  李胤尚 ,  金桢吉 ,  朴景彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种照明校正设备，其用于校正从曝光设备入射于掩模板上的辐射束，照明校正设备包括：多个指状物，其各自具有面对辐射束的入射方向的表面，所述多个指状物在第一方向上排列为邻近于辐射束的路径，并且被配置为通过在与第一方向交叉的第二方向上移动来调整入射的辐射束的量；控制器，其连接至所述多个指状物，并且被配置为控制所述多个指状物的运动，使得辐射束的强度在第一方向上具有均匀性；至少一个光学传感器，其在所述多个指状物中的至少一个指状物的表面上；以及测量单元，其被配置为基于所述至少一个光学传感器的输出测量辐射束的强度。

公开(公告)号：CN109388019B

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN201810794958.0

申请日：2018-07-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金东昱 ,  李柱铉 ,  金炳相 ,  朴景彬 ,  孙沂周 ,  刘灏

IPC: G03F7/00

Abstract: 本公开提供了一种膜框架、用于制造显示基板的系统以及制造显示基板的方法，该膜框架包括：一对框架边缘，在第一方向上纵向地延伸并彼此相对地布置；固定端夹具，连接到所述一对框架边缘并在垂直于第一方向的第二方向上纵向地延伸；以及在所述一对框架边缘之间的自由端夹具，该自由端夹具在第二方向上纵向地延伸并配置为与所述一对框架边缘可拆卸地联接，其中固定端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第一磁性固定器以及在第一磁性固定器上的第二磁性固定器，自由端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第三磁性固定器和在第三磁性固定器上的第四磁性固定器。

公开(公告)号：CN110543080A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201910405326.5

申请日：2019-05-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘灏 ,  金炳相 ,  朴景彬

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/67

Abstract: 提供了半导体压印装置和半导体压印装置的操作方法。该半导体压印装置包括：支撑基板的载物台；膜夹具，将包括图案的膜印模施加到基板上；辊，向设置在基板上的膜印模施加压力，使得所述图案被转印到基板；相机，捕获辊和膜印模的图像；以及控制器，通过使用所述图像调节膜夹具的位置。所述图案用于形成半导体器件。