公开(公告)号：CN1481207A

公开(公告)日：2004-03-10

申请号：CN03142444.9

申请日：2003-06-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴在俊

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/321 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供了一种感应耦合式等离子体(ICP)发生设备。该设备包括被抽成真空的反应室；天线系统，安装在反应室的上部以感生一个电场，使供给到反应室中的反应气体电离并产生等离子体；和连接到天线系统的RF电源，对天线系统提供RF电源。天线系统包括一个邻近于反应室的上部安装的下天线和一个安装在下天线之上预定位置的上天线。上、下天线分别包括一个放置成与反应室内的衬底的边缘部分对应的外天线和一个放置在外天线以内形成预定间隔的内天线。在本发明的ICP发生设备中，可以通过调节上天线或者内天线的位置来控制反应室内衬底周围的等离子体密度的均匀性。

公开(公告)号：CN1235449C

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN03142444.9

申请日：2003-06-12

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 吴在俊

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H01J37/321 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供了一种感应耦合式等离子体(ICP)发生设备。该设备包括被抽成真空的反应室；天线系统，安装在反应室的上部以感生一个电场，使供给到反应室中的反应气体电离并产生等离子体；和连接到天线系统的RF电源，对天线系统提供RF电源。天线系统包括一个邻近于反应室的上部安装的下天线和一个安装在下天线之上预定位置的上天线。上、下天线分别包括一个放置成与反应室内的衬底的边缘部分对应的外天线和一个放置在外天线以内形成预定间隔的内天线。在本发明的ICP发生设备中，可以通过调节上天线或者内天线的位置来控制反应室内衬底周围的等离子体密度的均匀性。

公开(公告)号：CN1638599A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410010475.5

申请日：2004-10-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金佑奭 ,  蔡胜基 ,  甘度英 ,  李光铭 ,  元济亨 ,  申在光 ,  吴在俊 ,  全尚珍

IPC: H05H1/46 ,  H01Q1/36 ,  H01L21/3065

Abstract: 一种天线，包括具有基本相同形状的分支。分支相对中心点对称地设置，并且沿着至少两个同心的图案延伸，该图案的几何中心和中心点重合。每个分支包括完全位于同心图案里的图案形成部分，和至少一个在图案形成部分之间延伸和连接的连接部分。在每个分支的末端提供给分支两端施加电压的输入/输出端子。