光学各向异性参数测定装置

    公开(公告)号:CN101153965B

    公开(公告)日:2011-07-13

    申请号:CN200710152861.1

    申请日:2007-09-18

    Inventor: 田冈大辅

    Abstract: 提出了即使是各向异性小的测定对象物,也不受样品台或样品的微细图案引起的散射光的影响,采用和SMP法同样的手法,能够高精度且简单地测定光学各向异性参数的差动SMP法。相对于测定对象物(2)的测定面,将P偏振光和S偏振光中的任一个的方向作为基准方向;将入射光和测定光中的一个作为在基准方向上振动的直线偏振光;将入射光和测定光中的另一个作为在相对于基准方向±δ(δ≠nπ/2、n是整数)的方向上振动的一对直线偏振光;测定对应于该一对直线偏振光的两种测定光的光强度;基于表示获得的两个光强度数据的差分的差分数据来测定光学各向异性参数。

    光学各向异性参数测定方法及测定装置

    公开(公告)号:CN100570310C

    公开(公告)日:2009-12-16

    申请号:CN200610084031.5

    申请日:2006-01-24

    Inventor: 田之冈大辅

    Abstract: 本发明的目的是提供可高速、高精度测定光学各向异性薄膜的光学轴的方向和大小、以及膜厚,并可进一步根据二维受光元件进行分布测定的方法和装置。其具体方式是以从测定点(M)向上的法线(Z)作为中心,从以预定角度间隔设定的多个入射方向,使P偏振光的单色光以预定入射角度照射,对应于入射方向检测出包含在其反射光中S偏振光的反射光强度,基于在反射光强度显示出极小值的入射方向中、被测定出了作为最大峰的两个极大值(∧1、∧2)夹着的极小值(V1)的入射方向,确定测定点M中光学轴(OX)的方位角方向(ΦA),基于被测定出了作为最大峰的极大值(∧1)和与其邻接的中间峰的极大值(∧3)夹着的极小值(V3)的入射方向,确定极角方向(θ)。

    基于反射光和透射光的目视检查用照明装置

    公开(公告)号:CN1880983A

    公开(公告)日:2006-12-20

    申请号:CN200610092846.8

    申请日:2006-06-16

    Abstract: 用于检查偏振膜等的缺陷的常规方法包括使用在三基色荧光灯中配备了乳白色丙烯酸散射片的透射照明装置的方法,该方法存在下述的问题:只能用于基于透射光的检查;不能将颜变色为适合于各种缺陷类型的不同波长的颜色;以及由于不能区别缺陷的垂直位置(凹凸)和由于只能使用散射光,故容易漏掉微小的缺陷。本发明提出了一种基于反射光和透射光的目视检查用照明装置,其特征在于:在外壳(1)的上部中配置用于发射照明光的光发射部(2)和与上述光发射部面对的倾斜的反射镜(3),在上述外壳的下部中配置装有检查对象(10)的倾斜的透射光反射镜(5),在上述反射镜与上述透射光反射镜之间配置菲涅耳透镜(6)。

    照明装置和该装置采用的照明头及电源装置

    公开(公告)号:CN1535098A

    公开(公告)日:2004-10-06

    申请号:CN200410031288.5

    申请日:2004-03-26

    CPC classification number: H05B33/0812 H05B33/0848 Y02B20/345

    Abstract: 一种照明装置(1),用来将照明头(H1~H3)与电源装置(B)相连接加以使用,与照明头规格无关,采用相同标准的电源装置,向连接于该电源装置上的照明头各个发光器件供给额定电流,该照明装置具备电流检测电阻(R1~R3),用来检测流向照明头(H1~H3)的馈电电路(C1~C3)的电流,其各电阻值被选定为在对各发光器件(2…)供给额定电流时产生与预先所设定的参考电位(V0)相等的电压降,在电源装置(B)中具备电流控制器,对馈电电流进行控制,使由上述电流检测电阻(R1~R3)所产生的电压降的电位(VS)与参考电位(V0)相等。

    接合面配合装置及配合方法

    公开(公告)号:CN1519599A

    公开(公告)日:2004-08-11

    申请号:CN200410001914.6

    申请日:2004-01-15

    Abstract: 接合面配合装置及配合方法。在采用测角台进行表面接合时能不依赖于熟练者的技巧与CCD摄像机等摄像元件,可由任何人都能简单与可靠地进行接合面配合。通过使一方的光学零件(2)支承成能沿与Z向正交的两个方向倾斜的测角台(5)和使另一方的光学零件(4)沿Z向移动的Z台(6),让这两方的光学零件(2,4)进行接合面配合时,在使各光学零件(2,4)的接合面接触加压的状态下,由测角台(5)使一方的光学零件(2)的接合面朝两方向倾斜,同时由载荷检测器(10)检测作用于另一方光学零件(4)的Z向上的载荷,按检测载荷相对于各倾斜方向为最小的角度倾斜测角台(5)。

    波导式光学部件和纤维排列的调芯装置

    公开(公告)号:CN1445569A

    公开(公告)日:2003-10-01

    申请号:CN03120214.4

    申请日:2003-03-07

    CPC classification number: G02B6/30 G02B6/4226

    Abstract: 本发明提供一种具有载物台装置的调芯装置,该载物台装置是由在对于波导式光学部件a的纤维排列b的进退方向上可移动的第1载物台1、纤维排列的保持部构成部件2、在纤维排列的扩展方向和直交方向上可移动的第2载物台5所构成,并且在第1、第2的载物台之间以及在保持部构成部件和第2载物台之间构成通过直交于上述两个方向的旋转轴可旋转的角度调整装置。从而解决了在使用直角研磨用的调芯单元进行斜向研磨的调芯时,具有调芯时间长,在载物台的操作中会产生使纤维阵组和波导式光学部件发生冲突;在构成斜向研磨专用的调芯单元时会有成本高的问题。

    光学各向异性参数测定方法及测定装置

    公开(公告)号:CN101666926B

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN200910159390.6

    申请日:2009-07-15

    Inventor: 田冈大辅

    Abstract: 本发明“光学各向异性参数测定方法及测定装置”发展了差动SMP法,能够在短时间内测定不同的三种偏振状态的复振幅反射率比的相位差及大小。根据A~D中3种偏振状态合计12种光强度来测定相位差及大小:(A)对于在P±αA方向上的偏振光,以偏振光间相位被调整为γA1及γA2的合计4种偏振光作为入射光,其反射光所包含的合计4种S偏振光;(B)以P偏振光作为入射光时,其反射光P偏振光与S偏振光的偏振光间相位差被调整为γB1及γB2的偏振光中,在S±αB方向上振动的合计4种偏振光;(C)对于S±αC方向上的偏振光,以偏振光间相位被调整为γC1及γC2的合计4种偏振光作为入射光,其反射光所包含的合计4种P偏振光;(D)以S偏振光为入射光时,其反射光P偏振光与S偏振光的偏振光间相位差被调整为γD1及γD2的偏振光中,在P±αD方向上振动的合计4种偏振光。

    照明装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1535098B

    公开(公告)日:2010-05-05

    申请号:CN200410031288.5

    申请日:2004-03-26

    CPC classification number: H05B33/0812 H05B33/0848 Y02B20/345

    Abstract: 一种照明装置(1),用来将照明头(H1~H3)与电源装置(B)相连接加以使用,与照明头规格无关,采用相同标准的电源装置,向连接于该电源装置上的照明头各个发光器件供给额定电流,该照明装置具备电流检测电阻(R1~R3),用来检测流向照明头(H1~H3)的馈电电路(C1~C3)的电流,其各电阻值被选定为在对各发光器件(2…)供给额定电流时产生与预先所设定的参考电位(V0)相等的电压降,在电源装置(B)中具备电流控制器,对馈电电流进行控制,使由上述电流检测电阻(R1~R3)所产生的电压降的电位(Vs)与参考电位(V0)相等。

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