接合面配合装置及配合方法

    公开(公告)号:CN1519599A

    公开(公告)日:2004-08-11

    申请号:CN200410001914.6

    申请日:2004-01-15

    Abstract: 接合面配合装置及配合方法。在采用测角台进行表面接合时能不依赖于熟练者的技巧与CCD摄像机等摄像元件,可由任何人都能简单与可靠地进行接合面配合。通过使一方的光学零件(2)支承成能沿与Z向正交的两个方向倾斜的测角台(5)和使另一方的光学零件(4)沿Z向移动的Z台(6),让这两方的光学零件(2,4)进行接合面配合时,在使各光学零件(2,4)的接合面接触加压的状态下,由测角台(5)使一方的光学零件(2)的接合面朝两方向倾斜,同时由载荷检测器(10)检测作用于另一方光学零件(4)的Z向上的载荷,按检测载荷相对于各倾斜方向为最小的角度倾斜测角台(5)。

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