公开(公告)号：CN101153965B

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN200710152861.1

申请日：2007-09-18

Applicant: 株式会社茉莉特斯

Inventor： 田冈大辅

IPC: G02F1/13 ,  G01M11/00

Abstract: 提出了即使是各向异性小的测定对象物，也不受样品台或样品的微细图案引起的散射光的影响，采用和SMP法同样的手法，能够高精度且简单地测定光学各向异性参数的差动SMP法。相对于测定对象物(2)的测定面，将P偏振光和S偏振光中的任一个的方向作为基准方向；将入射光和测定光中的一个作为在基准方向上振动的直线偏振光；将入射光和测定光中的另一个作为在相对于基准方向±δ(δ≠nπ/2、n是整数)的方向上振动的一对直线偏振光；测定对应于该一对直线偏振光的两种测定光的光强度；基于表示获得的两个光强度数据的差分的差分数据来测定光学各向异性参数。

公开(公告)号：CN101666926B

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN200910159390.6

申请日：2009-07-15

Applicant: 株式会社茉莉特斯

Inventor： 田冈大辅

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明“光学各向异性参数测定方法及测定装置”发展了差动SMP法，能够在短时间内测定不同的三种偏振状态的复振幅反射率比的相位差及大小。根据A～D中3种偏振状态合计12种光强度来测定相位差及大小：(A)对于在P±αA方向上的偏振光，以偏振光间相位被调整为γA1及γA2的合计4种偏振光作为入射光，其反射光所包含的合计4种S偏振光；(B)以P偏振光作为入射光时，其反射光P偏振光与S偏振光的偏振光间相位差被调整为γB1及γB2的偏振光中，在S±αB方向上振动的合计4种偏振光；(C)对于S±αC方向上的偏振光，以偏振光间相位被调整为γC1及γC2的合计4种偏振光作为入射光，其反射光所包含的合计4种P偏振光；(D)以S偏振光为入射光时，其反射光P偏振光与S偏振光的偏振光间相位差被调整为γD1及γD2的偏振光中，在P±αD方向上振动的合计4种偏振光。

公开(公告)号：CN101666926A

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：CN200910159390.6

申请日：2009-07-15

Applicant: 株式会社茉莉特斯

Inventor： 田冈大辅

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明“光学各向异性参数测定方法及测定装置”发展了差动SMP法，能够在短时间内测定不同的三种偏振状态的复振幅反射率比的相位差及大小。根据A～D中3种偏振状态合计12种光强度来测定相位差及大小：(A)对于在P±αA方向上的偏振光，以偏振光间相位被调整为γA1及γA2的合计4种偏振光作为入射光，其反射光所包含的合计4种S偏振光；(B)以P偏振光作为入射光时，其反射光P偏振光与S偏振光的偏振光间相位差被调整为γB1及γB2的偏振光中，在S±αB方向上振动的合计4种偏振光；(C)对于S±αC方向上的偏振光，以偏振光间相位被调整为γC1及γC2的合计4种偏振光作为入射光，其反射光所包含的合计4种P偏振光；(D)以S偏振光为入射光时，其反射光P偏振光与S偏振光的偏振光间相位差被调整为γD1及γD2的偏振光中，在P±αD方向上振动的合计4种偏振光。

公开(公告)号：CN101153965A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200710152861.1

申请日：2007-09-18

Applicant: 株式会社茉莉特斯

Inventor： 田冈大辅

IPC: G02F1/13 ,  G01M11/00

Abstract: 提出了即使是各向异性小的测定对象物，也不受样品台或样品的微细图案引起的散射光的影响，采用和SMP法同样的手法，能够高精度且简单地测定光学各向异性参数的差动SMP法。相对于测定对象物(2)的测定面，将P偏振光和S偏振光中的任一个的方向作为基准方向；将入射光和测定光中的一个作为在基准方向上振动的直线偏振光；将入射光和测定光中的另一个作为在相对于基准方向±δ(δ≠nπ/2、n是整数)的方向上振动的一对直线偏振光；测定对应于该一对直线偏振光的两种测定光的光强度；基于表示获得的两个光强度数据的差分的差分数据来测定光学各向异性参数。