-
公开(公告)号：CN108511311B
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201710638057.8
申请日：2017-07-31
Applicant: 株式会社新动力等离子体 , 成均馆大学校产学协力团
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明涉及能够控制输出电流的供电装置及利用其的供电方法。本发明的能够控制输出电流供电装置用于向等离子体发生器内维持等离子体，能够控制输出电流供电装置包括：开关电源，包括整流器、逆变器及移相器；等离子体源，与所述开关电源相连接，用于在所述等离子体发生器内部生成等离子体；共振网络，连接在所述开关电源与所述等离子体源之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与初级绕组串联，所述共振电容器与所述等离子体源并联并与所述共振电感器串联；以及控制部，为了对向所述共振网络提供的电压电流进行相移而对所述开关电源进行控制。
-
公开(公告)号：CN103307290A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201210549476.1
申请日：2012-12-17
Applicant: 株式会社新动力等离子体
Inventor： 崔大圭
CPC classification number: F16K3/00 , H01L21/67126
Abstract: 公开了一种双向闸阀和具有双向闸阀的衬底加工系统。双向闸阀包括：阀室，其具有与第一室联接的第一入口、与第二室联接的第二入口以及可打开且可关闭阀室盖；移动模块，具有用于密封第一入口的第一密封板、用于密封第二入口的第二密封板以及第一和第二密封板安装到其上的移动模块主体；推-拉模块，具有推-拉模块主体、第一操作主体和第二操作主体；第一驱动装置；第二驱动装置；以及第三驱动装置，其用于使推-拉模块在操作位置和备用位置之间移动，其中，当推-拉模块被第三驱动装置移动至操作位置时，第一操作主体由第一驱动装置操作或第二操作主体由第二驱动装置操作以便选择性地密封第一入口和第二入口之一。
-
公开(公告)号：CN108511311A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201710638057.8
申请日：2017-07-31
Applicant: 株式会社新动力等离子体 , 成均馆大学校产学协力团
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明涉及能够控制输出电流的供电装置及利用其的供电方法。本发明的能够控制输出电流供电装置用于向等离子体发生器内维持等离子体，能够控制输出电流供电装置包括：开关电源，包括整流器、逆变器及移相器；等离子体源，与所述开关电源相连接，用于在所述等离子体发生器内部生成等离子体；共振网络，连接在所述开关电源与所述等离子体源之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与初级绕组串联，所述共振电容器与所述等离子体源并联并与所述共振电感器串联；以及控制部，为了对向所述共振网络提供的电压电流进行相移而对所述开关电源进行控制。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108511310A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201710638079.4
申请日：2017-07-31
Applicant: 株式会社新动力等离子体 , 成均馆大学校产学协力团
IPC: H01J37/24
CPC classification number: H01J37/32183 , H01F27/24 , H01J37/321 , H02M7/44 , H01J37/24
Abstract: 本发明涉及具有无源器件的供电装置及利用其的用于等离子体点火供电方法。本发明一实施例的具有无源器件的供电装置用于在等离子体发生器内对等离子体进行点火，所述具有无源器件的供电装置包括：开关电源，具有整流器和逆变器；变压器，具有初级绕组及卷绕所述初级绕组的铁氧体磁芯；以及共振网络，连接在所述开关电源与所述初级绕组之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与所述初级绕组串联，所述共振电容器与所述初级绕组并联并与所述共振电感器串联并所述共振网路包括一端与所述共振电容器串联且另一端接地连接的无源器件，通过所述无源器件调节所述逆变器的电压、电流的大小。
-
公开(公告)号：CN104025720B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380004082.0
申请日：2013-12-26
Applicant: 株式会社新动力等离子体
Inventor： 崔相敦
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J37/321 , H01J37/32458 , H01J37/32467 , H01J2237/327 , H05H1/46 , H05H2001/4652
Abstract: 本发明涉及一种等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法。本发明的等离子体反应器包括：多个磁芯，具有初级线圈；交流电源供给源，用于向所述初级线圈供给交流电力；多个等离子体腔室主体，设置有所述磁芯，电压直接感应，从而感应产生感应电动势；及多个浮动腔室，通过绝缘区域与所述等离子体腔室主体连接，并从所述等离子体腔室主体间接传导感应电动势，其中，所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室在内部具有用于等离子体放电的一个放电路径，根据从所述交流电源供给源供给的交流电力的相位变化而在所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室之间产生电压差，根据该电压差实现等离子体点火。根据本发明的等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法，在供给与以往相比相对低的电压来产生等离子体的情况下，也能够进行等离子体放电，因此能够供给低价产品，并能够使电弧放电引起的等离子体反应器的损伤最小化。并且，供给与以往相同的电压的情况下，在气体流动流量压力低的状态下，也能够容易进行用于等离子体放电的点火。并且，供给与以往相同的电压的情况下，在低温下也能够容易进行用于等离子体放电的点火。
-
公开(公告)号：CN102163538A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201010164265.7
申请日：2010-04-09
Applicant: 株式会社新动力等离子体
CPC classification number: H01J37/32165 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/32449
Abstract: 公开了一种多电感耦合等离子体反应器及其方法。在多电感耦合等离子体反应方法中，用于增进待处理衬底中特定部分的蚀刻方法包括：蚀刻待处理衬底中特定部分；和在被蚀刻的特定部分的表面上沉积钝化层，其中重复进行蚀刻和沉积步骤，当存在由中心等离子体源和外围等离子体源形成的等离子体时执行这两个步骤之一。根据本发明的多电感耦合等离子体反应器及其方法，由于中心等离子体源和外围等离子体源被分开设置，因此在衬底的整个区域上可以均匀地处理等离子体。另外，可以使用在中心等离子体源和外围等离子体源之间接地的防干扰电极来在等离子体反应器中形成没有电干扰的独立的复等离子体区。另外，由中心等离子体源和外围等离子体源形成的等离子体用于深蚀刻待处理衬底中的特定部分。
-
公开(公告)号：CN104025720A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201380004082.0
申请日：2013-12-26
Applicant: 株式会社新动力等离子体
Inventor： 崔相敦
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J37/321 , H01J37/32458 , H01J37/32467 , H01J2237/327 , H05H1/46 , H05H2001/4652
Abstract: 本发明涉及一种等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法。本发明的等离子体反应器包括：多个磁芯，具有初级线圈；交流电源供给源，用于向所述初级线圈供给交流电力；多个等离子体腔室主体，设置有所述磁芯，电压直接感应，从而感应产生感应电动势；及多个浮动腔室，通过绝缘区域与所述等离子体腔室主体连接，并从所述等离子体腔室主体间接传导感应电动势，其中，所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室在内部具有用于等离子体放电的一个放电路径，根据从所述交流电源供给源供给的交流电力的相位变化而在所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室之间产生电压差，根据该电压差实现等离子体点火。根据本发明的等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法，在供给与以往相比相对低的电压来产生等离子体的情况下，也能够进行等离子体放电，因此能够供给低价产品，并能够使电弧放电引起的等离子体反应器的损伤最小化。并且，供给与以往相同的电压的情况下，在气体流动流量压力低的状态下，也能够容易进行用于等离子体放电的点火。并且，供给与以往相同的电压的情况下，在低温下也能够容易进行用于等离子体放电的点火。
-
公开(公告)号：CN103474321A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310124037.0
申请日：2013-02-28
Applicant: 株式会社新动力等离子体
Inventor： 崔相敦
IPC: H01J37/32 , H01J37/244
CPC classification number: G01R31/245 , G01R19/0061 , G01R27/08 , H01J37/32082 , H01J37/32944 , H05H1/0081 , H05H1/46
Abstract: 本发明提供了在等离子体室中检测电弧的方法和装置。根据本发明的用于检测等离子体室中电弧的装置被设计为检测供应给等离子体室的RF功率的相应的电压和电流值，并计算该电压和电流值的比例以实现对功率的供应的所需控制。当确定电弧产生时，该装置快速控制功率的供应以防止由于电弧的产生而对等离子体室的损伤以及对要被处理的材料造成污染。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.025 seconds)
