公开(公告)号：CN108511311B

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201710638057.8

申请日：2017-07-31

Applicant: 株式会社新动力等离子体 ,  成均馆大学校产学协力团

Inventor： 成原镛 ,  丘根完 ,  李秉国 ,  柳承喜 ,  林昌燮 ,  文洪权

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明涉及能够控制输出电流的供电装置及利用其的供电方法。本发明的能够控制输出电流供电装置用于向等离子体发生器内维持等离子体，能够控制输出电流供电装置包括：开关电源，包括整流器、逆变器及移相器；等离子体源，与所述开关电源相连接，用于在所述等离子体发生器内部生成等离子体；共振网络，连接在所述开关电源与所述等离子体源之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与初级绕组串联，所述共振电容器与所述等离子体源并联并与所述共振电感器串联；以及控制部，为了对向所述共振网络提供的电压电流进行相移而对所述开关电源进行控制。

公开(公告)号：CN108511311A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201710638057.8

申请日：2017-07-31

Applicant: 株式会社新动力等离子体 ,  成均馆大学校产学协力团

Inventor： 成原镛 ,  丘根完 ,  李秉国 ,  柳承喜 ,  林昌燮 ,  文洪权

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明涉及能够控制输出电流的供电装置及利用其的供电方法。本发明的能够控制输出电流供电装置用于向等离子体发生器内维持等离子体，能够控制输出电流供电装置包括：开关电源，包括整流器、逆变器及移相器；等离子体源，与所述开关电源相连接，用于在所述等离子体发生器内部生成等离子体；共振网络，连接在所述开关电源与所述等离子体源之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与初级绕组串联，所述共振电容器与所述等离子体源并联并与所述共振电感器串联；以及控制部，为了对向所述共振网络提供的电压电流进行相移而对所述开关电源进行控制。

公开(公告)号：CN108511310A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201710638079.4

申请日：2017-07-31

Applicant: 株式会社新动力等离子体 ,  成均馆大学校产学协力团

Inventor： 成原镛 ,  丘根完 ,  李秉国 ,  柳承喜 ,  林昌燮 ,  文洪权

IPC: H01J37/24

CPC classification number: H01J37/32183 ,  H01F27/24 ,  H01J37/321 ,  H02M7/44 ,  H01J37/24

Abstract: 本发明涉及具有无源器件的供电装置及利用其的用于等离子体点火供电方法。本发明一实施例的具有无源器件的供电装置用于在等离子体发生器内对等离子体进行点火，所述具有无源器件的供电装置包括：开关电源，具有整流器和逆变器；变压器，具有初级绕组及卷绕所述初级绕组的铁氧体磁芯；以及共振网络，连接在所述开关电源与所述初级绕组之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与所述初级绕组串联，所述共振电容器与所述初级绕组并联并与所述共振电感器串联并所述共振网路包括一端与所述共振电容器串联且另一端接地连接的无源器件，通过所述无源器件调节所述逆变器的电压、电流的大小。