公开(公告)号：CN103474321A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201310124037.0

申请日：2013-02-28

Applicant: 株式会社新动力等离子体

Inventor： 崔相敦

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/244

CPC classification number: G01R31/245 ,  G01R19/0061 ,  G01R27/08 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32944 ,  H05H1/0081 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供了在等离子体室中检测电弧的方法和装置。根据本发明的用于检测等离子体室中电弧的装置被设计为检测供应给等离子体室的RF功率的相应的电压和电流值，并计算该电压和电流值的比例以实现对功率的供应的所需控制。当确定电弧产生时，该装置快速控制功率的供应以防止由于电弧的产生而对等离子体室的损伤以及对要被处理的材料造成污染。

公开(公告)号：CN104025720A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201380004082.0

申请日：2013-12-26

Applicant: 株式会社新动力等离子体

Inventor： 崔相敦

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H01J37/321 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32467 ,  H01J2237/327 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4652

Abstract: 本发明涉及一种等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法。本发明的等离子体反应器包括：多个磁芯，具有初级线圈；交流电源供给源，用于向所述初级线圈供给交流电力；多个等离子体腔室主体，设置有所述磁芯，电压直接感应，从而感应产生感应电动势；及多个浮动腔室，通过绝缘区域与所述等离子体腔室主体连接，并从所述等离子体腔室主体间接传导感应电动势，其中，所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室在内部具有用于等离子体放电的一个放电路径，根据从所述交流电源供给源供给的交流电力的相位变化而在所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室之间产生电压差，根据该电压差实现等离子体点火。根据本发明的等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法，在供给与以往相比相对低的电压来产生等离子体的情况下，也能够进行等离子体放电，因此能够供给低价产品，并能够使电弧放电引起的等离子体反应器的损伤最小化。并且，供给与以往相同的电压的情况下，在气体流动流量压力低的状态下，也能够容易进行用于等离子体放电的点火。并且，供给与以往相同的电压的情况下，在低温下也能够容易进行用于等离子体放电的点火。

公开(公告)号：CN104025720B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201380004082.0

申请日：2013-12-26

Applicant: 株式会社新动力等离子体

Inventor： 崔相敦

IPC: H05H1/24

CPC classification number: H01J37/321 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32467 ,  H01J2237/327 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4652

Abstract: 本发明涉及一种等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法。本发明的等离子体反应器包括：多个磁芯，具有初级线圈；交流电源供给源，用于向所述初级线圈供给交流电力；多个等离子体腔室主体，设置有所述磁芯，电压直接感应，从而感应产生感应电动势；及多个浮动腔室，通过绝缘区域与所述等离子体腔室主体连接，并从所述等离子体腔室主体间接传导感应电动势，其中，所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室在内部具有用于等离子体放电的一个放电路径，根据从所述交流电源供给源供给的交流电力的相位变化而在所述等离子体腔室主体与所述浮动腔室之间产生电压差，根据该电压差实现等离子体点火。根据本发明的等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法，在供给与以往相比相对低的电压来产生等离子体的情况下，也能够进行等离子体放电，因此能够供给低价产品，并能够使电弧放电引起的等离子体反应器的损伤最小化。并且，供给与以往相同的电压的情况下，在气体流动流量压力低的状态下，也能够容易进行用于等离子体放电的点火。并且，供给与以往相同的电压的情况下，在低温下也能够容易进行用于等离子体放电的点火。