曝光装置及元件制造方法

    公开(公告)号:CN102736446A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210184248.9

    申请日:2005-06-09

    CPC classification number: G03F7/70883 G03F7/70341 G03F7/70833 G03F7/7085

    Abstract: 一种曝光装置(EX),是透过液体(LQ)将曝光用光(EL)照射于基板(P),以使基板(P)曝光,具备:光学系统(PL),具有与基板(P)对向的端面(T1),使照射于基板(P)的曝光用光(EL)通过;以及液浸机构(11,21等),是供应液体(LQ)且回收液体;该液浸机构具有板构件(172D),该板构件具有以和基板(P)平行对向的方式配置于基板(P)与光学系统端面(T1)之间、且配置成包围曝光用光(EL)的光路的平坦面(75);从供应口(12)将液体(LQ)供应至光学系统端面(T1)与板构件(172D)间的空间(G2),且透过液体回收口(22)回收从该供应口供应的液体,该回收口(22)是在较该板构件的平坦面(75)更离开曝光用光(EL)光路的位置配置成与基板(P)对向。本发明还公开了一种元件制造方法。

    目镜件
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101393319B

    公开(公告)日:2012-02-01

    申请号:CN200810161068.2

    申请日:2005-03-09

    Inventor: 山本光男

    CPC classification number: G02B25/001 G02B25/005

    Abstract: 目镜件包括:目镜筒的外周上的眼罩,沿着目镜透镜的光轴方向移动;目镜筒的表面上的凸起,在形成为眼罩上的槽的狭槽的方向上伸出;狭槽中的至少四个凸起接合部分,将凸起保持到至少四个分立位置,当眼罩在中间位置处时,在一个凸起接合部分和另一个凸起接合部分之间的至少两个凸起接合部分能固定凸起,当眼罩在最大拉出位置时,该一个凸起接合部分能够固定凸起,当眼罩在最大推入位置时,该另一个凸起接合部分能够固定凸起,相继的凸起接合部分之间的间距在从该一个凸起接合部分朝着该另一个凸起接合部分的方向上增加。当用裸眼观察的人使用眼罩拉出的目镜装置时,在需要更精细调节的范围内能微调眼罩的位置。因此能把眼罩设定在最佳观察位置。

    眼罩
    9.
    发明公开
    眼罩 失效

    公开(公告)号:CN101283309A

    公开(公告)日:2008-10-08

    申请号:CN200680037317.6

    申请日:2006-10-04

    Inventor: 相川安幸

    CPC classification number: G03B11/046 G02B23/16

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种诸如喇叭形眼罩等的眼罩,该眼罩能够容易地安装到标准眼罩上。该眼罩包括:中间部件(3),该中间部件(3)可拆卸地安装到标准眼罩(9)上,该标准眼罩(9)安装于一对双目镜的目镜部分(72)上;和眼罩本体(5);该眼罩本体(5)可拆卸地安装到该中间部件(3)上。

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