Invention Grant
- Patent Title: 成像光学系统、测定装置、形状测定装置、构造物制造系统、及构造物制造方法
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Application No.: CN201810367580.6Application Date: 2013-02-06
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Publication No.: CN108761778BPublication Date: 2021-06-04
- Inventor: 北泽大辅 , 派崔克·布兰卡特
- Applicant: 株式会社尼康 , 尼康计量公众有限公司
- Applicant Address: 日本东京都港区港南二丁目15番3号;
- Assignee: 株式会社尼康,尼康计量公众有限公司
- Current Assignee: 株式会社尼康,尼康计量公众有限公司
- Current Assignee Address: 日本东京都港区港南二丁目15番3号;
- Agency: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司
- Agent 寿宁; 张华辉
- Priority: 2012-024108 20120207 JP
- Main IPC: G02B27/00
- IPC: G02B27/00 ; G02B13/24 ; G01B11/24 ; B29C37/00
Abstract:
成像光学系统(21)为物体面(P1)与像面(P2)相对于第1轴(25)朝向相互相反方向倾斜的成像光学系统，其中第1轴链接物体面(P1)的一点和与物体面的一点共轭的像面(P2)的一点，在相对于包含物体面的面与包含像面的面的交线而垂直的平面内，所述成像光学系统具备在平面内相对于第1轴而偏心的第1光学构件(51)。在歪斜的成像光学系统中，其可能抑制成像性能的降低。
Public/Granted literature
- CN108761778A 成像光学系统、测定装置、形状测定装置、构造物制造系统、及构造物制造方法 Public/Granted day:2018-11-06
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