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公开(公告)号：CN101683650B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200910148668.X
申请日：2005-04-18
Applicant: 安堤格里斯公司
Inventor： 安东尼·玛索丝·堤班 , 约翰·里斯塔 , 大卫·L·贺伯麦耳
IPC: B08B9/093
CPC classification number: H01L21/67017 , H01L21/67126 , H01L21/67379 , H01L21/67389 , H01L21/67393 , H01L21/67769
Abstract: 一种清洗晶片容器的方法，包含下列步骤：选择晶片容器，包含：护孔环具有孔腔，该孔腔具有内表面，该护孔环是由弹性材料所构成，该孔腔界定流路；操作子组件，至少部分地容纳于该孔腔，并与该孔腔的内表面的弹性材料密封接合；该护孔环具有弹性材料，外露于该晶片容器外，该弹性材料提供座面；以清洗管口接合该弹性材料的该座面；利用自该管口的力压缩该弹性材料，藉此密封接合该护孔环与清洗源；及注入清洗气体于该晶片容器。
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公开(公告)号：CN101166682A
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN200680014024.6
申请日：2006-02-27
Applicant: 安堤格里斯公司
IPC: B65G1/133
Abstract: 本发明是一种用于容纳对微粒敏感的衬底的盒，用于在所述盒的外部与内部环境之间提供均压并用于使靠近所述对微粒敏感的衬底的内部气态流体流最小化。所述盒包含主盒、以及位于封盖中的隔膜，所述隔膜具有正常的未挠曲位置，所述隔膜可相对于所述正常的未挠曲位置发生挠曲。较佳地，所述盒包含设置于所述主盒中的辅助盒，以界定用于容纳所述对微粒敏感的衬底的第二外壳。所述盒可包含过滤器，所述过滤器附装至所述盒并在所述盒的外部与所述盒的内部之间提供气态流体连通。所述隔膜可响应于快速的压力变化，而所述过滤器可响应于较慢的压力变化并使所述隔膜能够返回至其正常的未挠曲位置。
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公开(公告)号：CN1805888A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200480016622.8
申请日：2004-04-14
Applicant: 安堤格里斯公司
Inventor： 查尔斯·W·艾克斯川德
CPC classification number: B01L3/502746 , B01L9/52 , B01L2300/166 , B01L2400/086 , B08B17/06 , B08B17/065 , B65G2201/0258 , Y10T137/2224 , Y10T428/24479
Abstract: 一种具有促进承载器更有效清洗和干燥的超憎液表面的盘式承载器。承载器(12)的整个表面或部分表面是超憎液的该承载器的超憎液表面使得可能与其接触的例如可能在清洗时使用的液体，能快速而容易地滚落，不会留下液体膜或者相当数量的液滴其结果是，使表面干燥所花费的时间和精力减少，而且再沉积的残留物减少到最低限度，从而改进了整个加工质量此外，该超憎液表面可抵抗可以是液态或气态形式的污染物的最初沉积。
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公开(公告)号：CN1798689A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200480015023.4
申请日：2004-04-01
Applicant: 安堤格里斯公司
CPC classification number: B29C51/082 , B29C35/02 , B29C51/10 , B29C51/14 , B29C51/261 , B29C51/421 , B29K2105/256 , B65B47/02 , H05K13/0084
Abstract: 一种压印承载带制造装置(24)，具有与其他工艺设备相结合，使其他工艺过程，如成型，填料，和封装承载带能在一个综合的工艺过程中顺序进行的特征。该装置(24)包括可缩回的在压印前加热带条接触部位的加热器(194)，以及一个单一的插在加热器(194)和带条(25)之间的隔热屏装置(208)，可以使工艺过程暂停。该装置还包括一个同步装置，使得承载带压印过程可以自动暂停以适应其他承载带加工设备的输入率。
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公开(公告)号：CN101166681B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200680013975.1
申请日：2006-02-27
Applicant: 安堤格里斯公司
IPC: B65D85/00
CPC classification number: H01L21/67353 , G03F1/66 , G03F7/70741 , H01L21/67359 , H01L21/67369 , H01L21/67376 , H01L21/67386
Abstract: 本发明提供一种光罩容器，其配备有辅助容器，所述辅助容器容纳光罩并容纳于主容器中。所述辅助容器通过震动及振动隔离部件固持于主容器内，从而使所述辅助容器在主容器内具有多个运动自由度。所述光罩紧固于所述辅助容器内部，从而使从光罩容器传递至光罩的震动及振动得到实质衰减。
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公开(公告)号：CN101432202A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200580019833.1
申请日：2005-04-18
Applicant: 安堤格里斯公司
Inventor： 安东尼·玛索丝·堤班 , 约翰·里斯塔
CPC classification number: H01L21/67376 , H01L21/67126
Abstract: 一种晶片容器(20)，包括外罩部件(22)，其具有由门框形成的用于插入和移动晶片的开口，以及用于密封外罩部件并与门框相配的门(24)。连续弹性密封件(94)围绕边界内的门延伸。密封件位于接近门周边的密封表面上，可以部分地插入门上径向的凹槽(92)中。在横截面上，弹性密封件具有插入部分(96)以及通过桥部(98)联结的密封头(97)。密封头具有从桥部向门密封表面凸出的底部(108)，以及相对于桥部沿与底部总体上相对方向延伸的头部(106)。门框具有密封接合结构，这样，当门位于门框中时，弹性密封件的桥部与密封接合结构(112)接触，使桥部向密封表面轴向移动，导致密封头的头部沿径向转动并与密封接合结构(118)接触。该移动动作还能使密封头的底部与门(58)密封表面接触。
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公开(公告)号：CN101166672A
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN200680014669.X
申请日：2006-02-27
Applicant: 安堤格里斯公司
CPC classification number: G03F1/66
Abstract: 本发明揭示一种具有弹簧闩锁的铰链式掩膜包装容器，其用于运输及存储衬底。该容器具有一基座与盖，其通过一可滑动的弹簧闩锁进行紧固，该可滑动的弹簧闩锁通过在盖被按下而碰到基座时沿轨道滑动而接纳该容器的盖，并随后通过滑回至其原始位置而对盖与基座进行紧固。该容器还采用通过重迭模塑工艺制成的活动铰链，从而在一第一模具中形成该铰链，并随后在一第二模具中形成该容器盖及基座，并将其接合至铰链上。
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公开(公告)号：CN101142129A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200480039748.7
申请日：2004-11-08
Applicant: 安堤格里斯公司
IPC: B65D85/30
Abstract: 一容器内夹持有多个轴向排列、通常平行分隔排布的晶片，该容器包括具有顶部、底部、两个相对侧部、背部和开口前部的壳体部分。壳体内设有至少一个晶片支承件以及壳体底部上的运动连轴器。容器有一个门，用来封闭开口前部，该门包括门板及门板上的可操控锁扣装置。锁扣装置包括可选择旋转使该锁扣装置在第一适当位置与第二适当位置间移动的凸轮及至少一个振动抑制装置，用来抑制锁扣装置在第一和第二适当位置间移动时产生的振动。
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公开(公告)号：CN1906098A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200480040448.0
申请日：2004-11-16
Applicant: 安堤格里斯公司
IPC: B65D85/30
Abstract: 用于夹持晶片的容器，包括具有顶部、底部、两个相对侧部、背部和由门框形成的开口前部的壳体部分。一扇与门框密封接合的门将开口前部封闭。该容器壳体内进一步包括晶片限制装置，晶片限制装置又包括固定的晶片限制装置和可操作的晶片限制装置。可操作的晶片限制装置根据门与门框的接合与分开来选择地定位，其定位要保证当门脱离门框时能向容器内插入或从中移出晶片，还要保证当门与门框接合时与固定的晶片限制装置一起协同限制容器内的晶片。
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