掩膜容器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101166672A

    公开(公告)日:2008-04-23

    申请号:CN200680014669.X

    申请日:2006-02-27

    CPC classification number: G03F1/66

    Abstract: 本发明揭示一种具有弹簧闩锁的铰链式掩膜包装容器,其用于运输及存储衬底。该容器具有一基座与盖,其通过一可滑动的弹簧闩锁进行紧固,该可滑动的弹簧闩锁通过在盖被按下而碰到基座时沿轨道滑动而接纳该容器的盖,并随后通过滑回至其原始位置而对盖与基座进行紧固。该容器还采用通过重迭模塑工艺制成的活动铰链,从而在一第一模具中形成该铰链,并随后在一第二模具中形成该容器盖及基座,并将其接合至铰链上。

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